[實(shí)用新型]一種三級(jí)混合氣冷羅茨真空機(jī)組

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020346917.8
• 申請(qǐng)日: 2020-03-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211819911U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張汝華;韓強(qiáng);劉延海;王明鐘;張旭
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 淄博華中真空設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F04C25/02
• 分類(lèi)號(hào): F04C25/02;F04C23/00;F04C23/02;F28B5/00
• 代理公司: 青島鼎丞智佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 37277
• 代理人: 韓耀朋;王敬花

本實(shí)用新型涉及抽真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種三級(jí)混合氣冷羅茨真空機(jī)組，羅茨泵包括依次連接的一級(jí)泵、二級(jí)泵和三級(jí)泵，二級(jí)泵和三級(jí)泵上均設(shè)有排氣口和冷氣返氣口，冷凝器包括二級(jí)冷凝器和三級(jí)冷凝器，二級(jí)泵排氣口通過(guò)二級(jí)排氣管道連接二級(jí)冷凝器殼程后通過(guò)二級(jí)返氣管道分別連接至二級(jí)泵和三級(jí)泵冷氣返氣口，三級(jí)泵排氣口通過(guò)三級(jí)排氣管道連接至三級(jí)冷凝器殼程后通過(guò)三級(jí)返氣管道分別連接至三級(jí)泵第二冷氣返氣口和二級(jí)排氣管道，三級(jí)返氣管道與二級(jí)排氣管道之間安裝閥門(mén)。初始時(shí)三個(gè)泵體同時(shí)排氣，二級(jí)泵和三級(jí)泵并聯(lián)排氣，增大排氣量，縮短真空時(shí)間；當(dāng)進(jìn)氣口達(dá)到一定真空度后，逆止閥關(guān)閉，三個(gè)泵體串聯(lián)排氣，提高真空度，節(jié)約能源。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及抽真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種三級(jí)混合氣冷羅茨真空機(jī)組。

背景技術(shù)

氣冷羅茨真空機(jī)組是目前抽真空的主要設(shè)備，現(xiàn)有的氣冷羅茨真空機(jī)組包括電機(jī)、羅茨泵和冷凝器，羅茨泵在泵體側(cè)面適當(dāng)位置分別開(kāi)設(shè)排氣口和冷氣返氣口，排氣口和冷氣返氣口分別通過(guò)排氣管道和返氣管道連接冷凝器殼程，冷凝器殼程內(nèi)套設(shè)管程，管程內(nèi)通入冷凝水為氣體降溫，但是現(xiàn)有的氣冷羅茨真空機(jī)組效率較低，使待抽真空的氣體達(dá)到設(shè)定真空度的時(shí)間較長(zhǎng)，浪費(fèi)能源。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在解決上述問(wèn)題，提供了一種三級(jí)混合氣冷羅茨真空機(jī)組，其采用的技術(shù)方案如下：

一種三級(jí)混合氣冷羅茨真空機(jī)組，其特征在于：包括電機(jī)、羅茨泵、冷凝器、排氣管道、返氣管道和閥門(mén)，所述羅茨泵包括依次連接的一級(jí)泵、第一中壁、二級(jí)泵、第二中壁和三級(jí)泵，第一中壁上設(shè)有連接一級(jí)泵和二級(jí)泵腔體的氣體通道，二級(jí)泵和三級(jí)泵上均設(shè)有排氣口和冷氣返氣口，電機(jī)輸出軸與伸出一級(jí)泵端部的主軸通過(guò)聯(lián)軸器相連；

冷凝器包括二級(jí)冷凝器和三級(jí)冷凝器，所述二級(jí)冷凝器和三級(jí)冷凝器均包括殼程和套設(shè)于殼程內(nèi)的管程；

二級(jí)泵排氣口通過(guò)二級(jí)排氣管道連接至二級(jí)冷凝器殼程，二級(jí)冷凝器殼程通過(guò)二級(jí)返氣管道分別連接至二級(jí)泵冷氣返氣口和三級(jí)泵第一冷氣返氣口，三級(jí)泵排氣口通過(guò)三級(jí)排氣管道連接至三級(jí)冷凝器殼程，三級(jí)冷凝器殼程通過(guò)三級(jí)返氣管道分別連接至三級(jí)泵第二冷氣返氣口和二級(jí)排氣管道，與二級(jí)排氣管道連接的三級(jí)返氣管道支路與二級(jí)排氣管道之間安裝閥門(mén)。

作為優(yōu)選，所述閥門(mén)為逆止閥。

作為優(yōu)選，所述第二中壁上設(shè)有連接二級(jí)泵和三級(jí)泵腔體的氣體通道。

作為優(yōu)選，所述二級(jí)泵和三級(jí)泵外部設(shè)有聯(lián)通二級(jí)泵和三級(jí)泵腔體的氣體通道。

作為優(yōu)選，所述二級(jí)冷凝器和三級(jí)冷凝器相互獨(dú)立。

作為優(yōu)選，二級(jí)冷凝器殼程和三級(jí)冷凝器殼程相互獨(dú)立，二級(jí)冷凝器管程和三級(jí)冷凝器管程相互貫通。

作為優(yōu)選，還包括機(jī)架，所述機(jī)架為長(zhǎng)方體框架結(jié)構(gòu)，機(jī)架頂部依次安裝電機(jī)、聯(lián)軸器和羅茨泵，機(jī)架框架內(nèi)與二級(jí)泵和三級(jí)泵對(duì)應(yīng)位置處分別設(shè)置二級(jí)冷凝器和三級(jí)冷凝器。

作為優(yōu)選，二級(jí)冷凝器殼程和三級(jí)冷凝器殼程通過(guò)法蘭連接。

本實(shí)用新型的有益效果為：本實(shí)用新型初始工作時(shí)一級(jí)泵、二級(jí)泵和三級(jí)泵同時(shí)排氣，二級(jí)泵和三級(jí)泵為并聯(lián)排氣，增大排氣量，縮短達(dá)到真空度的排氣時(shí)間；當(dāng)一級(jí)泵進(jìn)氣口的氣體達(dá)到一定真空度后，逆止閥關(guān)閉，一級(jí)泵、二級(jí)泵和三級(jí)泵實(shí)現(xiàn)串聯(lián)排氣，提高真空度，節(jié)約能源。

附圖說(shuō)明

圖1：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)主視圖；

圖2：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)左視圖；

圖3：羅茨泵結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明：