[實用新型]一種低溫探針臺及其測試腔組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020343379.7
• 申請日: 2020-03-18
• 公開（公告）號: CN211785920U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋風(fēng)寬;周昌峰
• 申請（專利權(quán)）人: 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/067;G01R1/02
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 王學(xué)芝

1.一種低溫探針臺的測試腔組件，包括外殼和外殼上蓋板，外殼和外殼上蓋板形成測試腔，外殼上蓋板上設(shè)置有用于供顯微鏡觀察的觀察窗，所述測試腔內(nèi)設(shè)置有供測試件放置的載物臺和探針，其特征在于：該測試腔組件還包括用于對載物臺進行降溫的半導(dǎo)體制冷器，半導(dǎo)體制冷器的冷端與載物臺接觸以對載物臺及其上的測試件進行降溫處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫探針臺的測試腔組件，其特征在于：所述測試腔組件還包括用于對半導(dǎo)體制冷器的熱端進行散熱的散熱裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的低溫探針臺的測試腔組件，其特征在于：所述散熱裝置包括用于與殼體密封配合的水冷板，水冷板上設(shè)置有冷卻水進口、冷卻水出口和水冷通道，水冷板上具有與半導(dǎo)體制冷器的熱端接觸散熱的散熱結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的低溫探針臺的測試腔組件，其特征在于：所述測試腔組件還包括設(shè)置于外殼下方的底座，底座具有供水冷板安裝的安裝腔，安裝腔的腔壁上設(shè)置有散熱格柵。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的低溫探針臺的測試腔組件，其特征在于：所述半導(dǎo)體制冷器為兩級以上的多級半導(dǎo)體制冷結(jié)構(gòu)。

6.一種低溫探針臺，包括測試腔組件和顯微鏡，測試腔組件包括外殼和外殼上蓋板，外殼和外殼上蓋板形成測試腔，外殼上蓋板上設(shè)置有用于供顯微鏡觀察的觀察窗，所述測試腔內(nèi)設(shè)置有供測試件放置的載物臺和探針，其特征在于：該測試腔組件還包括用于對載物臺進行降溫的半導(dǎo)體制冷器，半導(dǎo)體制冷器的冷端與載物臺接觸以對載物臺及其上的測試件進行降溫處理。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的低溫探針臺，其特征在于：所述測試腔組件還包括用于對半導(dǎo)體制冷器的熱端進行散熱的散熱裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的低溫探針臺，其特征在于：所述散熱裝置包括用于與殼體密封配合的水冷板，水冷板上設(shè)置有冷卻水進口、冷卻水出口和水冷通道，水冷板上具有與半導(dǎo)體制冷器的熱端接觸散熱的散熱結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的低溫探針臺，其特征在于：所述測試腔組件還包括設(shè)置于外殼下方的底座，底座具有供水冷板安裝的安裝腔，安裝腔的腔壁上設(shè)置有散熱格柵。

10.根據(jù)權(quán)利要求6-9中任一項所述的低溫探針臺，其特征在于：所述半導(dǎo)體制冷器為兩級以上的多級半導(dǎo)體制冷結(jié)構(gòu)。