[實(shí)用新型]一種高真空扁狀腔體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020337515.1
• 申請(qǐng)日: 2020-03-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213258000U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚凌宇;戴永豐;譚明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江德弘機(jī)電科技有限公司
• 主分類號(hào): B23P15/00
• 分類號(hào): B23P15/00;F04B37/14
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 丁鵬

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高真空扁狀腔體，包括三角形的腔體本體、第一法蘭和第二法蘭，所述腔體本體包括第一板體和第二板體，所述第一板體和第二板體平行設(shè)置且兩側(cè)邊相向彎折后形成彎折邊，所述彎折邊相互焊接封閉后圍合出真空腔室，所述真空腔室的橫截面為矩形且所述矩形的長(zhǎng)度遠(yuǎn)大于寬度；所述腔體本體具有第一開(kāi)口和第二開(kāi)口，所述第一開(kāi)口和第二開(kāi)口分別位于所述腔體本體的底和頂，所述第一法蘭固設(shè)于所述第一開(kāi)口，所述第二法蘭固設(shè)于所述第二開(kāi)口，本申請(qǐng)的高真空扁狀腔體其結(jié)構(gòu)合理，強(qiáng)度高，能夠很好的滿足真空系統(tǒng)的使用要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是涉及一種高真空扁狀腔體。

背景技術(shù)

真空系統(tǒng)的核心是真空室，它是針對(duì)具體應(yīng)用量身定做的。它是將其可靠地與外部分離或防止環(huán)境受內(nèi)部流程影響。不管干燥過(guò)程是否需要高真空環(huán)境，等離子體過(guò)程都需要在中或高真空環(huán)境下進(jìn)行，而表面研究也需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，真空室必須始終機(jī)械地承受其與大氣的壓差。真空室需要達(dá)到使用真空度就需要保證腔室很少的放氣率，影響真空度的因素很多：真空室的密封性越好，漏氣率越低，真空會(huì)抽的越好；真空室材料的放氣量，不同材料的放氣量是不同的，一般高真空及超高真空設(shè)備的真空室都選用不銹鋼材料的；再一個(gè)就是真空室的清潔度，如果真空室內(nèi)有很多的油，酒精，水之類的可凝性氣體，當(dāng)真空度上升時(shí)這些成分就會(huì)氣化分解，對(duì)高真空設(shè)備影響很大的。腔室內(nèi)部盡量少的縫隙，油、水等最容易積在縫隙中，腔室的基本形狀通常由應(yīng)用決定。對(duì)于腔體，如可能，應(yīng)該選擇圓柱管，它有利于物料的投放和系統(tǒng)的穩(wěn)定性，但是不可避免的會(huì)有扁平狀真空室需求。由于扁平狀內(nèi)部空間小，難以焊接和加工，真空側(cè)無(wú)法焊接就會(huì)產(chǎn)生縫隙，大大影響腔體的真空度。

現(xiàn)有技術(shù)常采用以下方式進(jìn)行生產(chǎn)：方案一，通常為了保證更容易達(dá)到需要的真空度一般采用內(nèi)部整圈滿焊，外部間斷焊接方式，如果腔體拼焊中采用外部焊接，內(nèi)部由于無(wú)法焊透而產(chǎn)生縫隙，清洗過(guò)程中會(huì)有油污和水漬殘留，處理不干凈也難以處理，最終影響腔室的抽真空時(shí)間和真空度；方案二，采用更易切削的鋁合金加工，但是鋁的放氣率比不銹鋼的放氣率高，影響抽真空時(shí)間和真空度，還有就是整體加工成本高，內(nèi)部空間小，加工需定制刀具，深度深排屑難度大；鋁不易焊接，容易出現(xiàn)泄漏，難以增加其它接口，無(wú)法用作超高真空腔體制作；鋁的強(qiáng)度低，不能滿足設(shè)計(jì)需求。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種高真空扁狀腔體，其意在解決背景技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種高真空扁狀腔體，包括三角形的腔體本體、第一法蘭和第二法蘭，所述腔體本體包括第一板體和第二板體，所述第一板體和第二板體平行設(shè)置且兩側(cè)邊相向彎折后形成彎折邊，所述彎折邊相互焊接封閉后圍合出真空腔室，所述真空腔室的橫截面為矩形且所述矩形的長(zhǎng)度遠(yuǎn)大于寬度；所述腔體本體具有第一開(kāi)口和第二開(kāi)口，所述第一開(kāi)口和第二開(kāi)口分別位于所述腔體本體的底和頂，所述第一法蘭固設(shè)于所述第一開(kāi)口，所述第二法蘭固設(shè)于所述第二開(kāi)口。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述第一板體和第二板體的外表面設(shè)有加強(qiáng)筋板，所述加強(qiáng)筋板包括多個(gè)豎向筋板和多個(gè)橫向筋板，所述豎向筋板平行固設(shè)于所述第一板體和第二板體的外表面，所述橫向筋板位于兩相鄰的兩豎向筋板之間且橫向筋板分別與兩相鄰豎向筋板固定連接。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述豎向筋板固設(shè)有安裝腳。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述第一板體和第二板體材質(zhì)為不銹鋼。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述第一開(kāi)口大于第二開(kāi)口。