[實(shí)用新型]一種平面陶瓷靶材的成型模具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020317375.1
• 申請日: 2020-03-13
• 公開（公告）號: CN212471890U
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 雷雨;趙明增;周昭宇;周志宏;肖世洪
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: B28B7/00
• 分類號: B28B7/00;B28B3/00;C04B35/453;C04B35/622
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

本實(shí)用新型公開了一種平面陶瓷靶材的成型模具。所述模具包括鋼模、柔性模套和柔性板，所述鋼模包括上鋼蓋和下鋼蓋，上鋼蓋和下鋼蓋安裝組合形成空腔體，所述柔性模套安裝于鋼模的兩端，且與鋼模配合密封，所述柔性板由上橡膠板和下橡膠板組合形成，且置于鋼模的空腔體內(nèi)，上橡膠板、下橡膠板和柔性模套之間形成的腔體為粉末填充腔；所述柔性模套的邵氏硬度為40?90度，所述柔性板的邵氏硬度為20?60度。利用本實(shí)用新型的模具對造粒粉進(jìn)行冷等靜壓成型，可以得到尺寸規(guī)則平整的陶瓷靶材生坯，經(jīng)過燒結(jié)可以得到高致密性的靶材，陶瓷靶材生產(chǎn)過程中減少了油壓機(jī)成型的工序，降低了設(shè)備及油壓模具的投入，同時也降低了陶瓷靶材生坯在搬運(yùn)過程中出現(xiàn)開裂的風(fēng)險。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及陶瓷靶材成型技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種平面陶瓷靶材的成型模具。

背景技術(shù)

目前，陶瓷旋轉(zhuǎn)靶坯體的成型方法，主要有擠出法、原位膠態(tài)凝固成型、注漿成型和冷等靜壓成型。擠出法、原位膠態(tài)凝固成型和注漿成型都可近凈尺寸成型，在制作異形件方面有一定的優(yōu)勢。但是，擠出法得到的坯體中含有大量的有機(jī)物和水，難以燒結(jié)致密；原位膠態(tài)凝固成型同樣還有大量的有機(jī)物和水，大尺寸成型干燥時容易開裂，而且難以獲得超高的致密度；注漿成型對粉體粒度及分布，漿料和多孔模具的要求都比較苛刻，生坯的干燥控制嚴(yán)格，技術(shù)難度較大。

而目前采用冷等靜壓方法工藝的全部要通過油壓機(jī)進(jìn)行模壓一次成型，然后再用冷等靜壓機(jī)二次成型，得到靶材生坯，但是，這種成型方法存在以下不足：1)工藝繁瑣，需要先經(jīng)過模壓再冷等靜壓；2)雖然模壓后的生坯尺寸規(guī)則，但是生坯密度均勻性差，再經(jīng)過冷等靜壓工序的時候，由于冷等靜壓的壓力是360°相等的，靶材會發(fā)生彎曲、變形或者開裂的情況；3)一次模壓成型后的生坯強(qiáng)度不高，在搬運(yùn)過程中特別容易出現(xiàn)開裂的情況；4)冷等靜壓成型所用的油壓機(jī)設(shè)備及模具都價格昂貴，生產(chǎn)過程耗費(fèi)時間、人工、電費(fèi)等；5) 目前成型所用的模具一般是方形的，很難做成異形模具，異形靶材只能靠后期切割，會有較多的邊角料浪費(fèi)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足之處而提供一種平面陶瓷靶材的成型模具，利用該模具對造粒粉進(jìn)行冷等靜壓成型，可以得到尺寸規(guī)則平整的陶瓷靶材生坯，再經(jīng)過燒結(jié)可以得到高致密性的靶材，陶瓷靶材生產(chǎn)過程中減少了油壓機(jī)成型的工序，降低了設(shè)備及油壓模具的投入，同時也降低了陶瓷靶材生坯在搬運(yùn)過程中出現(xiàn)開裂的風(fēng)險。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案如下：

一種平面陶瓷靶材的成型模具，包括鋼模、柔性模套和柔性板，所述鋼模包括上鋼蓋和下鋼蓋，上鋼蓋和下鋼蓋安裝組合形成空腔體，所述柔性模套安裝于鋼模的兩端，且與鋼模配合密封，所述柔性板由上橡膠板和下橡膠板組合形成，且置于鋼模的空腔體內(nèi)，上橡膠板、下橡膠板和柔性模套之間形成的腔體為粉末填充腔；所述柔性模套的邵氏硬度為40-90度，所述柔性板的邵氏硬度為20-60度。

本實(shí)用新型的模具由鋼模、柔性模套和柔性板組合得到，且通過試驗(yàn)優(yōu)選柔性模套和柔性模套的硬度，利用該模具對造粒粉進(jìn)行冷等靜壓成型，可以得到尺寸規(guī)則平整的陶瓷靶材生坯，減少彎曲、變形或者開裂等缺陷，再經(jīng)過燒結(jié)可以得到高致密性的靶材，陶瓷靶材生產(chǎn)過程中減少了油壓機(jī)成型的工序，降低了設(shè)備及油壓模具的投入，同時也降低了陶瓷靶材生坯在搬運(yùn)過程中出現(xiàn)開裂的風(fēng)險，成品率高。

本實(shí)用新型中粉末填充腔為方形腔體或異形腔體。

優(yōu)選地，所述柔性模套的邵氏硬度為60-80度，更有利于消除靶材生坯表面凹坑、縮頭等壓制缺陷，提高靶材生坯的致密性。

優(yōu)選地，所述柔性板的邵氏硬度為30-40度，更有利于提高靶材生坯的致密性。

優(yōu)選地，所述柔性板的表面粗糙度小于3.2μm，盡可能降低柔性板的粗糙度，使得冷等靜壓成型后的靶材生坯表面光滑。

優(yōu)選地，所述鋼模的兩端均設(shè)有凹槽，所述柔性模套安裝于凹槽內(nèi)。