[實用新型]一種石墨舟卡點用直槽有效
| 申請號: | 202020297725.2 | 申請日: | 2020-03-11 |
| 公開(公告)號: | CN211872083U | 公開(公告)日: | 2020-11-06 |
| 發明(設計)人: | 褚高陽 | 申請(專利權)人: | 褚高陽 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458 |
| 代理公司: | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 鄭自群 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 舟卡點用直槽 | ||
本實用新型屬于太陽能電池制造設備技術領域,尤其為一種石墨舟卡點用直槽,包括卡點底座,所述卡點底座兩側壁對稱且固定連接有兩個卡點軸,兩個所述卡點軸遠離卡點底座的一端均固定連接有卡接部,兩個所述卡點軸均與卡點底座之間形成卡點直槽,兩個所述卡點軸上套設有第一卡塊,所述第一卡塊的下側設有第二卡塊,所述連接塊內設有彈簧,所述彈簧一端與第一連接桿固定連接,所述第二連接桿貫穿連接塊并與凹槽的內壁固定連接。本實用新型通過設置卡點直槽、第一卡塊和第二卡塊,使V型卡槽變成卡點直槽,提高了卡槽的深度,減少色差片的產生,提高硅片的導電性能,還能夠對卡和的硅片進行防護,減少硅片的損壞,提高產品的良品率。
技術領域
本實用新型涉及太陽能電池制造設備技術領域,具體為一種石墨舟卡點用直槽。
背景技術
在太陽能電池片的制造過程中,硅片進行其表面鍍膜工序時,需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設備的載片器上,目前,載片器通常采用石墨舟,具體操作過程是:將硅片插入石墨舟并通過石墨舟卡點定位于其上,然后,將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備中,采用PECVD工藝對硅片進行鍍膜。
現有技術當中的石墨舟卡點通常為V型卡點,但是V型卡點的底端不便與硅片相接觸,易產生色差片、會造成大量的不良產品,而且現有技術當中的石墨舟卡點不便對硅片進行防護,當硅片與卡點進行卡和的時候容易對硅片造成損壞,導致生產成本的增加。
現有技術當中的石墨舟卡點存在以下問題:
1、現有技術當中的石墨舟卡點,通常采用V型卡點,V型卡點的底端不便與硅片相接觸,易產生色差片,會造成大量的不良產品;
2、現有技術當中的石墨舟卡點,不便對硅片進行防護,硅片直接與卡點進行卡和,易對硅片造成損壞,而且卡點在進行長時間的使用過程中會產生磨損,通常直接更換卡點,造成生產成本的增加。
實用新型內容
(一)解決的技術問題
針對現有技術的不足,本實用新型提供了一種石墨舟卡點用直槽,解決了現有技術當中的卡點不便與硅片接觸完全、不便對卡和的硅片進行防護和不便卡點在進行使用的過程中易磨損的問題。
(二)技術方案
為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種石墨舟卡點用直槽,包括卡點底座,所述卡點底座兩側壁對稱且固定連接有兩個卡點軸,兩個所述卡點軸遠離卡點底座的一端均固定連接有卡接部,兩個所述卡點軸均與卡點底座之間形成卡點直槽,兩個所述卡點軸上套設有第一卡塊,所述第一卡塊的下側設有第二卡塊,所述第一卡塊下側兩個均固定連接有第一限位塊,所述第二卡塊兩端均設有凹槽,凹槽內滑動設有與第一限位塊相咬合的第二限位塊,所述第二限位塊一側壁固定連接有第一連接桿,所述第一連接桿遠離第二限位塊一端滑動連接有連接塊,所述連接塊內設有彈簧,所述彈簧一端與第一連接桿固定連接,且彈簧的另一端固定連接有第二連接桿,所述第二連接桿貫穿連接塊并與凹槽的內壁固定連接。
作為本實用新型的一種優選技術方案,所述第一卡塊和第二卡塊的外壁上均固定連接有弧形軟墊。
作為本實用新型的一種優選技術方案,所述第二限位塊下端面固定連接有滑塊,所述第二卡塊上設有與滑塊相匹配的滑槽。
作為本實用新型的一種優選技術方案,所述第二卡塊上對稱設有與凹槽連通的第一開孔。
作為本實用新型的一種優選技術方案,所述卡接部上對稱設有與第一開孔相匹配的第二開孔。
作為本實用新型的一種優選技術方案,所述第一卡塊和第二卡塊形狀相同。
(三)有益效果
與現有技術相比,本實用新型提供了一種石墨舟卡點用直槽,具備以下有益效果:
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





