[實用新型]多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置

有效

• 申請號: 202020294017.3
• 申請日: 2020-03-11
• 公開（公告）號: CN211669147U
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 朱顏;王陸平;王仕華;孫建;王智
• 申請（專利權）人: 江蘇南大光電材料股份有限公司;全椒南大光電材料有限公司
• 主分類號: G01N30/24
• 分類號: G01N30/24;G01N30/72;G01N30/02
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

1.多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置，其特征在于：包括依次串接的進樣管路單元(1)、壓力控制單元(2)、多通道進樣閥單元(3)以及質譜分流進樣單元(4)，所述進樣管路單元(1)包含以并聯方式設置的高壓氦氣流路(101)、低壓氦氣流路(102)、砷烷流路(103)、磷烷流路(104)、標氣流路(105)、放空流路(106)以及抽空流路(107)；

所述壓力控制單元(2)包含減壓閥(201)以及與其串接的壓力控制器(202)，減壓閥(201)的進口與進樣管路單元(1)串接，壓力控制器(202)的出口與多通道進樣閥單元(3)串接；

所述多通道進樣閥單元(3)包含多通道進樣選擇閥一(301)以及與其串接的多通道進樣選擇閥二(302)，多通道進樣選擇閥一(301)的進口與壓力控制器(202)的出口串接，多通道進樣選擇閥一(301)的通道分別與多通道進樣選擇閥二(302)的對應通道串聯，多通道進樣選擇閥二(302)的出口與質譜分流進樣單元(4)串接。

2.根據權利要求1所述的多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置，其特征在于：所述高壓氦氣流路(101)、低壓氦氣流路(102)、砷烷流路(103)、磷烷流路(104)、標氣流路(105)、放空流路(106)和抽空流路(107)上分別安裝有控制閥。

3.根據權利要求1所述的多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置，其特征在于：進樣管路單元(1)與壓力控制單元(2)之間通過1/4inch不銹鋼管路連接，壓力控制單元(2)與多通道進樣閥單元(3)之間通過1/4inch不銹鋼管路連接，多通道進樣閥單元(3)與質譜分流進樣單元(4)之間通過1/4inch不銹鋼管路連接。

4.根據權利要求1所述的多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置，其特征在于：多通道進樣選擇閥一(301)和多通道進樣選擇閥二(302)為六通道、四通道或十通道進樣選擇閥。

5.根據權利要求1或4所述的多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置，其特征在于：多通道進樣選擇閥一(301)的通道與多通道進樣選擇閥二(302)的對應通道之間管路上設有毛細管、色譜柱或限流孔結構。

6.根據權利要求5所述的多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置，其特征在于：毛細管為1/16inch毛細管，其內徑為0.12cm、0.20cm或0.38cm。

7.根據權利要求5所述的多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置，其特征在于：限流孔結構的孔徑為200nm、100nm、50nm或30nm。

8.根據權利要求5所述的多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置，其特征在于：色譜柱為1/8inch填充柱、1/16inch毛細柱或1/32inch毛細柱。

9.根據權利要求1所述的多通道低干擾氣體質譜分析自動進樣裝置，其特征在于：所述質譜分流進樣單元(4)包含以并聯方式設置的質譜分流進樣管路一(401)以及質譜分流進樣管路二(402)。