[實用新型]一種基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器

有效

• 申請號: 202020290523.5
• 申請日: 2020-03-11
• 公開（公告）號: CN211927699U
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 唐福建;趙麗芝;李鋼;李宏男
• 申請（專利權）人: 大連理工大學
• 主分類號: G01N21/59
• 分類號: G01N21/59;G01N17/04;G01N17/00
• 代理公司: 大連理工大學專利中心 21200
• 代理人: 溫福雪;侯明遠

1.一種基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，該基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器包括第一多模光纖(1)、單模光纖(2)、第二多模光纖(3)；其中第一多模光纖(1)和第二多模光纖(3)包括多模光纖纖芯(4)、多模光纖包層(5)和涂覆層(6)；單模光纖(2)包括單模光纖纖芯(7)、單模光纖包層(8)、銀薄膜(9)和鐵薄膜(10)；

所述的單模光纖(2)的兩端分別熔接第一多模光纖(1)和第二多模光纖(3)；

所述的第一多模光纖(1)和第二多模光纖(3)的多模光纖包層(5)的半徑與單模光纖(2)的單模光纖包層(8)的半徑相等。

2.根據權利要求1所述的基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，所述的單模光纖(2)的長度根據鍍膜尺寸要求、待測材料的長度以及監測對象的靈敏度要求進行調整。

3.根據權利要求1或2所述的基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，所述的單模光纖(2)的單模光纖包層(8)外表面均勻鍍一層銀薄膜(9)，所述的銀薄膜(9)與單模光纖包層(8)之間沒有空隙；所述單模光纖(2)的銀薄膜(9)的外表面均勻鍍一層鐵薄膜(10)，所述的鐵薄膜(10)與銀薄膜(9)之間為真空。

4.根據權利要求1或2所述的基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，所述的銀薄膜(9)的鍍膜方法采用真空蒸發法、真空推桿法或銀鏡反應法；所述的鐵薄膜(10)的鍍膜方法采用真空蒸發法、真空推桿法或等離子濺射技術。

5.根據權利要求3所述的基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，所述的銀薄膜(9)的鍍膜方法采用真空蒸發法、真空推桿法或銀鏡反應法；所述的鐵薄膜(10)的鍍膜方法采用真空蒸發法、真空推桿法或等離子濺射技術。

6.根據權利要求1、2或5所述的基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，所述銀薄膜(9)覆蓋整個單模光纖包層(8)的長度；所述的銀薄膜(9)的厚度根據傳感器靈敏度要求進行調整。

7.根據權利要求3所述的基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，所述銀薄膜(9)覆蓋整個單模光纖包層(8)的長度；所述的銀薄膜(9)的厚度根據傳感器靈敏度要求進行調整。

8.根據權利要求4所述的基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，所述銀薄膜(9)覆蓋整個單模光纖包層(8)的長度；所述的銀薄膜(9)的厚度根據傳感器靈敏度要求進行調整。

9.根據權利要求1、2、5、7或8所述的基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，所述的鐵薄膜(10)覆蓋整個銀薄膜(9)的長度；所述的鐵薄膜(10)的厚度根據傳感器靈敏度要求、使用壽命要求和待測結構的尺寸進行調整。

10.根據權利要求6所述的基于表面等離子共振技術的光纖腐蝕傳感器，其特征在于，所述的鐵薄膜(10)覆蓋整個銀薄膜(9)的長度；所述的鐵薄膜(10)的厚度根據傳感器靈敏度要求、使用壽命要求和待測結構的尺寸進行調整。