[實用新型]一種大功率晶閘管芯片燒結模具有效
| 申請號: | 202020267697.X | 申請日: | 2020-03-06 |
| 公開(公告)號: | CN211265424U | 公開(公告)日: | 2020-08-14 |
| 發明(設計)人: | 王連來 | 申請(專利權)人: | 廣州市晶泰電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 廣州越華專利代理事務所(普通合伙) 44523 | 代理人: | 陳岑 |
| 地址: | 511450 廣東省廣州市番禺區*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 大功率 晶閘管 芯片 燒結 模具 | ||
本實用新型涉及一種大功率晶閘管芯片燒結模具,包括圓筒形的石墨模具、圓管形的定位套筒,所述定位套筒自上向下插入石墨模具中,所述定位套筒的中心軸與石墨模具的中心軸共線,所述定位套筒中形成供硅片、鋁片、鉬片疊放的定位腔。本實用新型的有益效果是:利用定位套筒對疊放在定位腔中的硅片、鋁片、鉬片進行定位,使硅片、鋁片、鉬片在石墨模具中同軸疊放整齊,使鋁片熱熔時受力均勻避免從芯片均分邊緣溢流;且硅片、鋁片、鉬片的邊緣與石墨燒結模具的內壁之間形成環形的氣流通道,使燒結時的高溫氣流暢通。
技術領域
本實用新型涉及晶閘管芯片制造技術領域,尤其涉及一種大功率晶閘管芯片燒結模具。
背景技術
普通大功率晶閘管芯片燒結模具缺乏對硅片、鋁片、鉬片的定位功能,導致硅片、鋁片、鉬片在模具中不能夠疊放整齊,且硅片、鋁片、鉬片的側面與模具接觸,在燒結時,鋁片熱熔后由于受到的壓力不平衡,會從芯片部分邊緣處流出,導致芯片與模具或相鄰芯片之間粘接,而且不利于模具中高溫氣流的流通。
實用新型內容
本實用新型的目的在于克服現有技術存在的以上問題,提供一種大功率晶閘管芯片燒結模具。
為實現上述技術目的,達到上述技術效果,本實用新型通過以下技術方案實現:
一種大功率晶閘管芯片燒結模具,包括圓筒形的石墨模具、圓管形的定位套筒,所述定位套筒自上向下插入石墨模具中,所述定位套筒的中心軸與石墨模具的中心軸共線,所述定位套筒中形成供硅片、鋁片、鉬片疊放的定位腔。
作為優選的,所述石墨模具的內徑等于定位套筒的外徑。
作為優選的,所述石墨模具的側壁上開設有條形的觀察窗,所述觀察窗與石墨模具的中心軸相平行。
作為優選的,所述石墨模具包括圓形的石墨模具底座和圓管形的石墨模具筒體,所述石墨模具底座頂端設有圓形的凸臺,所述石墨模具筒體的底部卡在凸臺上。
作為優選的,所述石墨模具筒體的側壁上開設有條形的觀察窗,所述觀察窗與石墨模具筒體的中心軸相平行。
作為優選的,所述石墨模具筒體的內徑等于定位套筒的外徑。
作為優選的,所述石墨模具的頂部內緣設有圓角或者倒角。
作為優選的,所述定位套筒的高度大于石墨模具的內部深度。
本實用新型的有益效果是:利用定位套筒對疊放在定位腔中的硅片、鋁片、鉬片進行定位,使硅片、鋁片、鉬片在石墨模具中同軸疊放整齊,使鋁片熱熔時受力均勻避免從芯片均分邊緣溢流;且硅片、鋁片、鉬片的邊緣與石墨燒結模具的內壁之間形成環形的氣流通道,使燒結時的高溫氣流暢通。
附圖說明
此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解,構成本申請的一部分,本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型,并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
圖1是本實用新型實施例一的結構示意圖;
圖2是本實用新型實施例二的結構示意圖;
圖3是本實用新型實施例三的結構示意圖;
圖4是本實用新型實施例三中石墨模具底座的結構示意圖。
具體實施方式
下面將參考附圖并結合實施例,來詳細說明本實用新型。
如圖1所示的實施例一,一種大功率晶閘管芯片燒結模具,包括圓筒形的石墨模具1、圓管形的定位套筒2,定位套筒2自上向下插入石墨模具1中,定位套筒2的中心軸與石墨模具1的中心軸共線,定位套筒2中形成供硅片、鋁片、鉬片疊放的定位腔21。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





