[實(shí)用新型]一種減少SIC氣相物質(zhì)對(duì)石墨氈保溫層侵蝕的處理裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202020256060.0 | 申請(qǐng)日： | 2020-03-05 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN211620664U | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-10-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 洪棋典;張潔;廖弘基;陳華榮 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 福建北電新材料科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C30B23/00 | 分類(lèi)號(hào)： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 減少 sic 物質(zhì) 石墨 保溫 侵蝕 處理 裝置 | ||
1.一種減少SIC氣相物質(zhì)對(duì)石墨氈保溫層侵蝕的處理裝置，包括線圈(1)、石英管(2)、石墨氈保溫層(3)、金屬碳化物(4)、坩堝(5)、SiC原料(6)、籽晶(7)和坩堝蓋(8)，其特征在于：所述坩堝(5)的外表面套設(shè)有石墨氈保溫層(3)，所述坩堝(5)和石墨氈保溫層(3)之間設(shè)置有金屬碳化物(4)，所述坩堝(5)的填充SiC原料(6)，所述坩堝(5)的頂部蓋合有坩堝蓋(8)，所述坩堝蓋(8)的底部中央設(shè)置有籽晶(7)，所述石墨氈保溫層(3)的外圍設(shè)置石英管(2)，所述石英管(2)的外圍纏繞有線圈(1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少SIC氣相物質(zhì)對(duì)石墨氈保溫層侵蝕的處理裝置，其特征在于：所述石墨氈保溫層(3)中的石墨氈選用硬氈。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少SIC氣相物質(zhì)對(duì)石墨氈保溫層侵蝕的處理裝置，其特征在于：所述金屬碳化物(4)選用NbC鍍層或TaC鍍層，利用噴砂機(jī)將調(diào)配好的金屬碳化物均勻的噴到石墨氈保溫層(3)表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少SIC氣相物質(zhì)對(duì)石墨氈保溫層侵蝕的處理裝置，其特征在于：所述線圈(1)為水冷式感應(yīng)線圈。
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