[實用新型]一種澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置

有效

• 申請號: 202020245805.3
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN211903833U
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 陳小偉;趙忠利
• 申請（專利權）人: 分宜九一機械制造有限公司
• 主分類號: F28D7/04
• 分類號: F28D7/04;F28F9/013
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置，包括換熱箱主體，所述換熱箱主體上端設有封蓋，且換熱箱主體外壁設有進油管和出油管，所述封蓋上端設有水泵，且封蓋下端設有若干層換熱管，并且不同換熱管之間設有連接管，所述換熱管為螺旋狀，且換熱管外壁設有若干個換熱管支撐桿，所述換熱箱主體內部設有支撐座，且支撐座上端為圓片狀。該澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置內部設有多層熱交換管，可以增加與油的接觸時間和距離，提高熱交換的效果。

技術領域

本實用新型涉及澆鑄退火爐技術領域，具體為一種澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

現有的澆鑄退火爐用熱導油在熱量回收的過程中，由于與油接觸時間較短，這樣在使用的過程中，油中的熱量交換時間比較短，這樣會造成熱量的大量浪費，降低換熱的效果。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置，以解決上述背景技術提出的目前市場上澆鑄退火爐用熱導油在熱量回收的過程中，由于與油接觸時間較短，這樣在使用的過程中，油中的熱量交換時間比較短，這樣會造成熱量的大量浪費，降低換熱的效果的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置，包括換熱箱主體，所述換熱箱主體上端設有封蓋，且換熱箱主體外壁設有進油管和出油管，所述封蓋上端設有水泵，且封蓋下端設有若干層換熱管，并且不同換熱管之間設有連接管，所述換熱管為螺旋狀，且換熱管外壁設有若干個換熱管支撐桿，所述換熱箱主體內部設有支撐座，且支撐座上端為圓片狀。

優選的，所述水泵上端設有進水管，且水泵與換熱管的一端相連接。

優選的，所述封蓋外壁設有出水管，且出水管的一端與換熱管相連接。

優選的，所述換熱管至少設有4層，且換熱管與進油管之間的間距小于換熱管與出油管之間的間距。

優選的，所述進油管在換熱箱主體上的高度低于出油管在換熱箱主體上的高度。

優選的，所述換熱管支撐桿至少設有8個，且換熱管支撐桿均勻分布在換熱管上。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置內部設有多層熱交換管，可以增加與油的接觸時間和距離，提高熱交換的效果。該裝置的水泵起到輸送水的作用，可以將水導入到換熱管內，而且換熱管內部的水可以通過出水管排出，而換熱管設有多層，可以增加水等介質的流動距離，提高熱交換的時間和接觸距離，提高熱交換的效果，而換熱管支撐桿可以將不同的換熱管固定連接在一起，使不同的換熱管可以連接在一起，避免單個換熱管出現歪斜時換熱管連接處出現泄漏的情況。

附圖說明

圖1為本實用新型一種澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置結構示意圖；

圖2為本實用新型一種澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置換熱管俯視圖；

圖3為本實用新型一種澆鑄退火爐用熱導油熱量回收交換裝置支撐座結構示意圖。

圖中：1、進水管，2、水泵，3、封蓋，4、換熱箱主體，5、換熱管，6、連接管，7、進油管，8、支撐座，9、出水管，10、出油管，11、換熱管支撐桿。

具體實施方式