[實用新型]平面度檢測裝置有效
| 申請號: | 202020244078.9 | 申請日: | 2020-03-03 |
| 公開(公告)號: | CN211824254U | 公開(公告)日: | 2020-10-30 |
| 發明(設計)人: | 陳瑞光;劉紅霞;楊海全 | 申請(專利權)人: | 深圳市東方亮彩精密技術有限公司 |
| 主分類號: | G01B7/34 | 分類號: | G01B7/34 |
| 代理公司: | 北京商專潤文專利代理事務所(普通合伙) 11317 | 代理人: | 邢若蘭 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市寶安區松崗街道潭頭社區第三工業區A3棟101潭頭社區第三工*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 平面 檢測 裝置 | ||
1.平面度檢測裝置,其特征在于,包括上治具(1)和下治具(2),所述上治具(1)能夠相對所述下治具(2)運動,所述上治具(1)設有檢測面(11),所述下治具(2)設有基準面(22),所述檢測面(11)與第一電極連接,所述基準面(22)與第二電極連接;
所述下治具(2)運動至檢測位置時,所述檢測面(11)與所述基準面(22)留有絕緣間隙。
2.根據權利要求1所述平面度檢測裝置,其特征在于,所述下治具(2)設有固定臺(21),所述固定臺(21)的上表面構成所述基準面(22)。
3.根據權利要求1所述平面度檢測裝置,其特征在于,所述上治具(1)設有預壓柱(12)。
4.根據權利要求1所述平面度檢測裝置,其特征在于,所述上治具(1)通過驅動件(3)實現運動。
5.根據權利要求4所述平面度檢測裝置,其特征在于,所述驅動件(3)為缸體或電推桿。
6.根據權利要求1所述平面度檢測裝置,其特征在于,還包括導柱(4)和底座(7),導柱(4)的一端與所述底座(7)連接,導柱(4)的另一端與頂板(5)連接,所述上治具(1)設有與所述導柱(4)相配合的導孔。
7.根據權利要求6所述平面度檢測裝置,其特征在于,所述底座(7)設有安全光柵(6)。
8.根據權利要求1所述平面度檢測裝置,其特征在于,所述檢測面(11)的形狀與工件(8)的被測平面的形狀相同。
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