[實用新型]一種高壓氣動閥多閥體泄漏檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020239528.5
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN212004525U
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 石定明
• 申請（專利權(quán)）人: 河南中磐機電科技有限公司
• 主分類號: F16K37/00
• 分類號: F16K37/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種高壓氣動閥多閥體泄漏檢測裝置，包括閥箱本體和泄漏檢測器，所述閥箱本體的下表面貫通連接有防漏管，所述閥箱本體的下表面固定連接有活動裝置，所述活動裝置包括電機，所述電機的頂部與閥箱本體的下表面固定連接，所述電機的下表面固定連接有殼體，所述電機上輸出軸的底部固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的底部貫穿殼體并固定連接有斜面圓柱，所述斜面圓柱的斜面朝下。本實用新型，通過上述結(jié)構(gòu)之間的配合使用，解決了在實際使用過程中，由于傳統(tǒng)泄漏偵測器的檢測范圍有限，難以對防漏管進行更加完整的泄漏檢測，一旦出現(xiàn)泄漏狀況，難以及時的檢測出泄漏狀況，容易造成污染和傷害，給使用帶來不便的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及檢測裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種高壓氣動閥多閥體泄漏檢測裝置。

背景技術(shù)

隨著我國半導(dǎo)體行業(yè)的繼續(xù)發(fā)展,芯片生產(chǎn)線在我國也已開始越來越規(guī)模化，其目的是實現(xiàn)對芯片上的雜質(zhì)、微粒子進行清洗等。而作為半導(dǎo)體制程前端的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其工作中的任何問題都可能會造成無法估量的損失,因此為了不斷提高化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性，半導(dǎo)體制造廠商已越來越重視該制程中的每一個化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備。涉及到多種危險化學(xué)品輸送和應(yīng)用，例如甲醇、丙酮等，此類化學(xué)品都具有高危害性，易燃易爆。

但是現(xiàn)有的有機化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的閥箱在處理本體密封，機臺拆卸方面都存在著不足，且沒有設(shè)置防漏措施，容易造成少量泄漏卻沒有偵測報警，造成污染和傷害，為此人們提出一種如中國專利CN207621454U所公開的一種有機化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)用閥箱，包括：閥箱本體，閥箱本體通過拋光不銹鋼焊接而成；閥箱本體內(nèi)設(shè)有管路區(qū)，閥箱本體的底部設(shè)置有支撐架和泄漏偵測器。通過上述方式，本實用新型布局錯落有致，美觀大方，管路區(qū)設(shè)置開關(guān)門，供安裝管路和維修用，比較容易操作。電控區(qū)設(shè)置推拉門，供安裝電控設(shè)備和維修用，密封效果好；

但是在實際使用過程中，由于泄漏偵測器的檢測范圍有限，難以對防漏管進行更加完整的泄漏檢測，一旦出現(xiàn)泄漏狀況，難以及時的檢測出泄漏狀況，容易造成污染和傷害，給使用帶來不便。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種高壓氣動閥多閥體泄漏檢測裝置，對傳統(tǒng)裝置進行改進，解決了背景技術(shù)中的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種高壓氣動閥多閥體泄漏檢測裝置，包括閥箱本體和泄漏檢測器，所述閥箱本體的下表面貫通連接有防漏管，所述閥箱本體的下表面固定連接有活動裝置。

所述活動裝置包括電機，所述電機的頂部與閥箱本體的下表面固定連接，所述電機的下表面固定連接有殼體，所述電機上輸出軸的底部固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的底部貫穿殼體并固定連接有斜面圓柱，所述斜面圓柱的斜面朝下，所述斜面圓柱的下表面滑動連接有壓桿，所述壓桿的底部貫穿殼體的下表面并固定連接有圓盤，所述壓桿的表面套有壓簧，所述壓簧的兩端與圓盤和殼體的相對面固定連接，所述圓盤的左側(cè)固定連接有傳動軸，所述傳動軸的左端固定連接有套管，所述套管套設(shè)在防漏管的表面，所述套管的內(nèi)壁與泄漏檢測器的表面固定連接。

優(yōu)選的，所述泄漏檢測器的數(shù)量不少于兩個，且在套管內(nèi)均勻分布。

優(yōu)選的，所述殼體的上表面固定連接有加固條，所述加固條的頂部與閥箱本體的下表面固定連接。

優(yōu)選的，所述加固條的數(shù)量為兩個，且兩個加固條以殼體的豎直中心線對稱設(shè)置。

優(yōu)選的，所述斜面圓柱的下表面開設(shè)有限位導(dǎo)槽，所述壓桿的頂部與限位導(dǎo)槽的內(nèi)壁滑動連接。

優(yōu)選的，所述壓桿的頂部為弧形面，且壓桿通過其上的弧形面與限位導(dǎo)槽的內(nèi)壁滑動連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果如下：

一、本實用新型通過活動裝置的設(shè)置，使得泄漏檢測器能夠?qū)Ψ缆┕苓M行更為全面的泄漏檢測，同時檢測更為及時準(zhǔn)確，避免危險化學(xué)品的大規(guī)模泄漏；