[實用新型]基板制程用的框架

有效

• 申請號: 202020237707.5
• 申請日: 2020-03-02
• 公開（公告）號: CN211806223U
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 周坤麟
• 申請（專利權）人: 敘豐企業股份有限公司
• 主分類號: B25J15/08
• 分類號: B25J15/08
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 南霆;程爽

本實用新型提供一種基板制程用的框架，其包括兩個夾具，呈相對向設置；四個動力機構，夾具的兩端分別設有動力機構，動力機構包括殼體、齒條、齒輪、彈性組件及驅動組件，齒條與齒輪相互嚙合且設于殼體中，齒輪的一側連接夾具的一端，彈性組件抵頂于齒條與殼體之間，驅動組件設于齒輪的另一側或齒條，驅動組件露出殼體外；兩個第一連桿，呈相對向設置，第一連桿的兩端分別設有動力機構，第一連桿位于兩個夾具之間。由此，本實用新型可作為基板的傳輸使用，且由動力機構驅動夾具，使夾具穩固夾持基板或釋放基板，而達到便于傳輸基板至后續制程的功效。

技術領域

本實用新型涉及一種基板制程用的框架，更特別地涉及一種便于傳輸基板至后續制程的基板制程用的框架。

背景技術

一般的基板在清潔傳輸過程中，常會因基板的夾持問題，而造成基板在清潔傳輸過程中的諸多不便。

實用新型內容

基于本實用新型的至少一個實施例，本實用新型的基板制程用的框架，可作為基板的傳輸使用，且由動力機構驅動夾具，使夾具穩固夾持基板或釋放基板，而達到便于傳輸基板至后續制程的目的。

本實用新型提供一種焊基板制程用的框架，其包括：兩個夾具，其呈相對向設置；四個動力機構，各所述夾具的兩端分別設有所述動力機構，各所述動力機構包括殼體、齒條、齒輪、彈性組件及驅動組件，所述齒條與所述齒輪相互嚙合且設于所述殼體中，所述齒輪的一側連接所述夾具的一端，所述彈性組件抵頂于所述齒條與所述殼體之間，所述驅動組件設于所述齒輪的另一側或所述齒條，且所述驅動組件露出所述殼體外；以及兩個第一連桿，其呈相對向設置，各所述第一連桿的兩端分別設有所述動力機構，各所述第一連桿位于所述兩個夾具之間。

通過上述結構，本實用新型可作為基板的傳輸使用，且由動力機構驅動夾具，使夾具穩固夾持基板或釋放基板，而達到便于傳輸基板至后續制程的目的。

可選地，各所述夾具包括下固定部、上夾持部及至少一個連接部，所述下固定部結合于所述連接部且所述下固定部的兩端分別連接于兩個所述殼體之間，所述上夾持部活動設于所述連接部，且所述上夾持部的兩端分別連接兩個所述齒輪的一側。

可選地，各所述動力機構分別具有露出所述殼體外的至少一個第一定位件，各所述第一定位件分別結合于所述下固定部的兩端。

可選地，各所述齒輪的一側分別具有傳動軸，各所述傳動軸分別連接所述上夾持部的兩端。

可選地，所述下固定部具有多個下夾持爪，所述上夾持部具有多個上夾持爪，各所述上夾持爪分別對應各所述下夾持爪。

可選地，所述下固定部具有多個抵靠件，所述上夾持部具有多個上夾持爪，各所述上夾持爪分別對應各所述抵靠件。

可選地，各所述動力機構分別包括定位框架，所述定位框架設有上蓋及底板，所述底板具有導桿，所述定位框架設于所述殼體中，所述齒條與所述齒輪設于所述定位框架中，所述導桿穿設所述彈性組件，所述齒條套設于所述彈性組件外，所述彈性組件的兩端分別抵頂所述齒條與所述底板，所述上蓋與所述定位框架之間及所述底板與所述定位框架之間分別設有第一氣密環。

可選地，所述驅動組件呈桿狀且設于所述齒輪的另一側，所述驅動組件露出所述殼體外，所述齒輪與所述定位框架之間設有第二氣密環。

可選地，所述驅動組件呈柱狀且設于所述齒條的頂端，所述驅動組件露出所述上蓋外，所述驅動組件與所述上蓋之間設有第二氣密環。

可選地，所述底板設有逆止閥，所述逆止閥連通于所述定位框架內。

可選地，還包括兩個第二連桿，其呈相對向設置，各所述第二連桿的兩端分別設有所述動力機構，各所述第二連桿分別與各所述夾具相鄰且位于所述兩個第一連桿之間。

附圖說明