[實用新型]一種離子源氣體純化裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020234312.X
• 申請日: 2020-03-02
• 公開（公告）號: CN211837084U
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙良超;何小中;馬超凡;龍全紅;楊興林;李洪
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院流體物理研究所
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00
• 代理公司: 成都四合天行知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51274
• 代理人: 馮龍;王記明

1.一種離子源氣體純化裝置，包括離子源(1)、導(dǎo)管(2)，所述導(dǎo)管(2)的一端與離子源(1)連通，導(dǎo)管(2)的另一端用于連接供氣裝置，其特征在于，還包括降溫裝置，所述導(dǎo)管(2)穿過降溫裝置，所述降溫裝置能夠?qū)?dǎo)管(2)進(jìn)行減溫，并且能夠?qū)?dǎo)管(2)內(nèi)氣體的雜質(zhì)分離純化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子源氣體純化裝置，其特征在于，所述降溫裝置包括低溫容器(7)，所述導(dǎo)管(2)穿過低溫容器(7)，所述低溫容器(7)內(nèi)設(shè)置有低溫工質(zhì)，所述低溫工質(zhì)能夠?qū)?dǎo)管(2)內(nèi)氣體進(jìn)行減溫，并且能夠?qū)?dǎo)管(2)內(nèi)氣體的雜質(zhì)分離純化。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種離子源氣體純化裝置，其特征在于，所述低溫工質(zhì)為液氮。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種離子源氣體純化裝置，其特征在于，所述低溫工質(zhì)為液氦。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種離子源氣體純化裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管(2)為蛇形導(dǎo)管。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種離子源氣體純化裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管(2)上設(shè)置有若干管道(5)，所述若干管道(5)穿過導(dǎo)管(2)，并且與導(dǎo)管(2)的軸線垂直，所述管道(5)內(nèi)腔形成通道。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種離子源氣體純化裝置，其特征在于，所述若干管道(5)相互錯位排布在導(dǎo)管(2)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種離子源氣體純化裝置，其特征在于，所述低溫容器(7)兩側(cè)均設(shè)置有導(dǎo)管支架(8)，所述導(dǎo)管(2)放置于導(dǎo)管支架上，所述導(dǎo)管支架(8)能夠調(diào)節(jié)導(dǎo)管(2)的高度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種離子源氣體純化裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管支架包括第一支架(9)、第二支架(10)、扭簧(11)、鎖止塊(12)，所述第一支架(9)、第二支架(10)為圓筒狀，所述第二支架(10)一端插接在第一支架(9)中，另一端設(shè)置有弧形的導(dǎo)管夾持片(13)，第二支架(10)能夠沿第一支架(9)的軸線移動，所述第二支架(10)管壁沿第二支架(10)的軸線方向設(shè)置有一排通孔一(14)，所述第一支架(9)管壁設(shè)置有通孔二(15)，所述第二支架(10)管壁位于通孔二(15)的下方兩側(cè)均設(shè)置有耳片(16)，所述鎖止塊(12)呈“7”字形，所述鎖止塊(12)的一端通過轉(zhuǎn)軸(17)安裝于兩耳片(16)之間，并且所述鎖止塊(12)能夠繞轉(zhuǎn)軸(17)的軸線轉(zhuǎn)動，另一端插入通孔一(14)，所述扭簧(11)套設(shè)于轉(zhuǎn)軸(17)上，并且一端扣掛在耳片(16)上，另一端扣掛在鎖止塊(12)上，所述鎖止塊(12)的水平段在扭簧(11)的作用下能夠伸入通孔一(14)和通孔二(15)，并且對第一支架(9)和第二支架(10)進(jìn)行固定。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種離子源氣體純化裝置，其特征在于，還包括有按壓塊(18)，所述按壓塊(18)設(shè)置于鎖止塊(12)的底部，并且向著遠(yuǎn)離鎖止塊(12)水平段端部的方向彎曲。