[實用新型]一種用于晶圓干燥槽裝置的弓形擋門裝置

有效

• 申請號: 202020221208.7
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN211950197U
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 鄧信甫;蔡嘉雄;王雪松;李志峰;徐銘
• 申請（專利權）人: 至微半導體（上海）有限公司;江蘇啟微半導體設備有限公司
• 主分類號: E06B5/10
• 分類號: E06B5/10;E05F15/53;H01L21/67
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 蔡巖巖

1.一種用于晶圓干燥槽裝置的弓形擋門裝置，其特征在于，包括：

槽體(30)、設于槽體(30)上的第一擋門機構(10)以及與所述第一擋門機構(10)相對設置的第二擋門機構(20)，所述第一擋門機構(10)與第二擋門機構(20)的結構相同；

所述第一擋門機構(10)包括弓形結構梁(101)、分別固定于所述弓形結構梁(101)兩端的傳動組件(105)與轉動組件(106)以及固定于所述弓形結構梁(101)上的擋門(102)，所述傳動組件(105)與轉動組件(106)均用于固定弓形結構梁(101)且帶動弓形結構梁(101)進行轉動；

所述弓形結構梁(101)包括第一直段(1011)、與所述第一直段(1011)一體化連接的第一傾斜段(1012)以及與所述第一傾斜段(1012)固定連接的連接段(1013)，所述連接段(1013)固定連接有第二傾斜段(1014)，所述第二傾斜段(1014)一體化連接有第二直段(1015)。

2.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽裝置的弓形擋門裝置，其特征在于，傳動組件(105)包括第一轉動固定軸(1051)，所述第一轉動固定軸(1051)沿長度方向依次貫穿有臺階固定塊(1052)以及轉接塊(1054)，所述第一轉動固定軸(1051)固定于第一轉接塊(1054)，所述第一轉接塊(1054)固定于第一直段(1011)。

3.如權利要求2所述的一種用于晶圓干燥槽裝置的弓形擋門裝置，其特征在于，第一轉動固定軸(1051)的一端上固定連接有曲柄連接件(104)，所述曲柄連接件(104)活動連接有驅動氣缸(103)。

4.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽裝置的弓形擋門裝置，其特征在于，轉動組件(106)包括第二轉動固定軸(1064)，所述第二轉動固定軸(1064)沿長度方向依次貫穿有墊片塊(1061)、階梯型安裝塊(1062)以及第二轉接塊(1063)。

5.如權利要求4所述的一種用于晶圓干燥槽裝置的弓形擋門裝置，其特征在于，所述墊片塊(1061)固定于階梯型安裝塊(1062)，第二轉動固定軸(1064)固定于第二轉接塊(1063)，所述第二轉接塊(1063)固定于第二直段(1015)。

6.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽裝置的弓形擋門裝置，其特征在于，第一傾斜段(1012)與連接段(1013)之間形成夾角ɑ，所述ɑ夾角為100°-145°。

7.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽裝置的弓形擋門裝置，其特征在于，第二傾斜段(1014)與連接段(1013)之間形成夾角β，所述β夾角為100°-145°。