[實(shí)用新型]可實(shí)現(xiàn)微幅擺動(dòng)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020220769.5
• 申請(qǐng)日: 2020-02-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211654776U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧信甫;莊海云;徐銘;蔡嘉雄;李志峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 至微半導(dǎo)體（上海）有限公司;江蘇啟微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B08B13/00
• 代理公司: 北京沁優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11684
• 代理人: 蔡巖巖

1.可實(shí)現(xiàn)微幅擺動(dòng)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

安裝主板(10)、設(shè)于安裝主板(10)上的運(yùn)動(dòng)組件(80)、安裝于所述運(yùn)動(dòng)組件(80)上的第一固定鞘底座(70)以及用于驅(qū)動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)組件(80)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件；

所述運(yùn)動(dòng)組件(80)包括固定于所述安裝主板(10)上的滑軌(801)、滑動(dòng)連接于所述滑軌(801)上的滑塊(802)以及固定于所述滑塊(802)上的固定板(803)，所述固定板(803)上固定有凹字形支撐板(804)，所述凹字形支撐板(804)上固接有第一固定鞘底座(70)；以及

所述驅(qū)動(dòng)組件包括輪擺式聯(lián)軸轉(zhuǎn)接器(40)以及帶動(dòng)所述輪擺式聯(lián)軸轉(zhuǎn)接器(40)轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(20)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(20)傳動(dòng)連接有變速器(30)，所述變速器(30)傳動(dòng)連接于輪擺式聯(lián)軸轉(zhuǎn)接器(40)，所述輪擺式聯(lián)軸轉(zhuǎn)接器(40)一端面活動(dòng)連接有連接桿(60)，所述連接桿(60)另一端活動(dòng)連接于固定板(803)上。

2.如權(quán)利要求1所述的可實(shí)現(xiàn)微幅擺動(dòng)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連接桿(60)包括直桿段(601)以及分別固定于所述直桿段(601)兩端的第一固定段(603)與第二固定段(602)，所述第一固定段(603)活動(dòng)連接于固定板(803)上。

3.如權(quán)利要求1所述的可實(shí)現(xiàn)微幅擺動(dòng)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述輪擺式聯(lián)軸轉(zhuǎn)接器(40)一端面上固定有連接柱(401)，且輪擺式聯(lián)軸轉(zhuǎn)接器(40)固接有軸固定座(50)，所述軸固定座(50) 固定于安裝主板(10)上，所述連接柱(401)上活動(dòng)連接有第二固定段(602)。

4.如權(quán)利要求1所述的可實(shí)現(xiàn)微幅擺動(dòng)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括支撐組件，所述支撐組件包括水平支撐桿、固定于所述水平支撐桿上的豎直支撐桿以及與所述豎直支撐桿固定連接的承載框架，所述承載框架上固定有復(fù)位梯形板片。

5.如權(quán)利要求4所述的可實(shí)現(xiàn)微幅擺動(dòng)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述水平支撐桿固定于第一固定鞘底座(70)上，承載框架遠(yuǎn)離豎直支撐桿一端面上固定有兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)鞘底座，所述轉(zhuǎn)動(dòng)鞘底座活動(dòng)連接有第二固定鞘底座。

6.如權(quán)利要求5所述的可實(shí)現(xiàn)微幅擺動(dòng)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二固定鞘底座固定有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上套設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)鞘底座。