[實用新型]一種用于粗氬提純的裝置

有效

• 申請號: 202020220358.6
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN211799425U
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 王耀亮
• 申請（專利權）人: 上海躍紳能源科技有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00;B01D53/26;B01D53/04;C01B23/00
• 代理公司: 北京專贏專利代理有限公司 11797
• 代理人: 于剛

本實用新型公開了一種用于粗氬提純的裝置，要解決的是現有作為廢氣的氬氣不能再次使用的問題。本產品包括過濾器、除氧組件和深度純化組件，所述過濾器上設置有進氣口并且過濾器與壓縮機相連通，壓縮機與干燥組件相連通，除氧組件與干燥組件相連通，深度純化組件與除氧組件相連通。本產品設計合理，作為廢氣的粗氬氣經過濾器除塵和壓縮機增壓后，送至干燥組件脫水后輸送至除氧組件，除氧后的粗氬氣進入深度純化組件，脫除氣體中的H₂O、CO、CO₂、N₂、CH₄等，得到符合國標的純氬送入用戶生產用氣管線，使氬氣可以循環利用，降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉及氬氣提純領域，是一種用于粗氬提純的裝置。

背景技術

隨著科技的進步和工業的快速發展，工業中的各種物質也有了更高的使用要求，氬氣就是其中常見的一種。

氬氣在工業中應用廣泛，在單晶硅及多晶硅行業做為產品拉制過程中保護氣體，保證產品拉制過程產品無雜質，在產品拉制生產中保護氣氬氣混入生產中排除的廢氣，氬氣的純度被破壞，只能當做廢氣排放，同時再補充新鮮的氬氣。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的在于提供一種用于粗氬提純的裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型實施例提供如下技術方案：

一種用于粗氬提純的裝置，包括過濾器、壓縮機、干燥組件、除氧組件和深度純化組件，所述過濾器上設置有進氣口并且過濾器與壓縮機相連通，壓縮機與干燥組件相連通，除氧組件與干燥組件相連通，深度純化組件與除氧組件相連通，作為廢氣的氬氣從進氣口進入過濾器，可以去除微量粉塵和顆粒，然后進入壓縮機進行增壓，增壓后進入干燥組件進行干燥，干燥后的氣體送入除氧組件，可以吸附氧氣，然后進入深度純化組件除去水等其他雜志，得到純氬氣，即可使用。

作為本實用新型實施例進一步的方案：深度純化組件與冷卻器相連通，冷卻器上設置有出氣口，可以對純氬氣進行降溫，便于用戶直接使用。

作為本實用新型實施例進一步的方案：干燥組件包括氟利昂系統和吸附容器，吸附容器中盛放有吸附劑，氟利昂系統與吸附容器相連，氟利昂系統可以對氣體進行降溫，排除冷凝水，吸附容器中的吸附劑可以深度吸附氣體中的水分，保證干燥效果。

作為本實用新型實施例進一步的方案：除氧組件包括兩只反應器，一只反應器進行除氧工作，另一只反應器進行再生，實現氧氣連續的凈化。

作為本實用新型實施例進一步的方案：兩只反應器均采用不銹鋼材料制作，加工方便，價格低廉，使用壽命長。

與現有技術相比，本實用新型實施例的有益效果是：

本產品設計合理，作為廢氣的粗氬氣經過濾器除塵和壓縮機增壓后，送至干燥組件脫水后輸送至除氧組件，除氧后的粗氬氣進入深度純化組件，脫除氣體中的H₂O、CO、CO₂、N₂、CH₄等，得到符合國標的純氬送入用戶生產用氣管線，使氬氣可以循環利用，降低生產成本。

附圖說明

圖1為用于粗氬提純的裝置的結構示意圖。

其中：1-過濾器，2-壓縮機，3-干燥組件，4-除氧組件，5-深度純化組件，6-冷卻器。

具體實施方式

下面結合具體實施方式對本專利的技術方案作進一步詳細地說明。

實施例1