[實用新型]一種納米真空鍍膜儀的斜切式觀察窗

有效

• 申請號: 202020211241.1
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN211689226U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 王寧
• 申請（專利權）人: 蘇州泓沵達儀器科技有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 豐葉

本實用新型涉及一種納米真空鍍膜儀的斜切式觀察窗，包括設置在真空鍍膜儀的腔體(1)上的觀察窗，所述觀察窗包括用以觀察樣品臺(2)的樣品臺觀察窗(3)、觀察蒸發源(4)的源材料觀察窗(5)，所述樣品臺觀察窗(3)、源材料觀察窗(5)設置在腔體(1)的相對兩側，所述樣品臺觀察窗(3)、源材料觀察窗(5)均傾斜設置，從所述樣品臺觀察窗(3)、源材料觀察窗(5)入射的光線分別直接打在樣品臺(2)、蒸發源(4)開口處。本實用新型利于樣品臺表面或蒸發源開口處的直接觀察，給生產或科研帶來了很大的便利。

技術領域

本實用新型一種納米真空鍍膜儀的斜切式觀察窗。

背景技術

納米真空鍍膜儀可以對蒸鍍的源材料進行高精度控溫，常常用于納米級薄膜材料和納米器件的制備。納米真空鍍膜儀的腔體上常常設有一些觀察窗口，以便于用肉眼觀察其工作時的腔體內部情況，尤其是樣品臺表面的生長鍍膜情況，以及蒸發源開口處的源材料加熱情況，但是市場上常見的觀察窗都是垂直于腔體表面，不利于樣品臺表面或蒸發源開口處的直接觀察，給生產或科研帶來了很大的不便。

實用新型內容

為克服上述缺點，本實用新型的目的在于提供一種利于樣品臺表面或蒸發源開口處的直接觀察，給生產或科研帶來了很大的便利的納米真空鍍膜儀的斜切式觀察窗。

為了達到以上目的，本實用新型采用的技術方案是：一種納米真空鍍膜儀的斜切式觀察窗，包括設置在真空鍍膜儀的腔體上的觀察窗，所述觀察窗包括用以觀察樣品臺的樣品臺觀察窗、觀察蒸發源的源材料觀察窗，所述樣品臺觀察窗、源材料觀察窗設置在腔體的相對兩側，所述樣品臺觀察窗、源材料觀察窗均傾斜設置，從所述樣品臺觀察窗、源材料觀察窗入射的光線分別直接打在樣品臺或蒸發源開口處。

本實用新型納米真空鍍膜儀的斜切式觀察窗的有益效果是，斜切式觀察窗，其與腔體側壁表面的角度小于90度，用肉眼可以直接觀察到樣品臺表面的生長情況和蒸發源開口處源材料的加熱情況，給儀器操作者帶來了很大的便利性。

優選地，所述樣品臺觀察窗、源材料觀察窗的材質為石英玻璃。

優選地，所述樣品臺觀察窗從觀察口的一端至與腔體連接的一端為傾斜向上設置；源材料觀察窗從觀察口的一端至與腔體連接的一端為傾斜向下設置，所述樣品臺觀察窗從觀察口的一端與源材料觀察窗從觀察口的一端基本齊平。利于作業人員在幾乎同一個高度觀察樣品臺和蒸發源，進一步給觀察提供了便利性。

優選地，所述樣品臺觀察窗、源材料觀察窗上分別設置有放大鏡，所述放大鏡可拆卸的設置在與其對應的觀察口上。便于作業人員更清晰的觀察樣品臺以及蒸發源；可拆卸設置，可以根據作業人員的需求來選擇是否來安裝該放大鏡。

優選地，每個所述觀察口的側壁上設置有插槽，所述放大鏡插設在與其對應的插槽內，所述放大鏡通過繩子和與其對應的觀察口連接。當要放大時，將放大鏡插入與其對應的插槽使用；當不需要放大時，將放大鏡從插槽取出即可，取出放大鏡后，放大鏡因為繩子掛在觀察口處，方便下次使用。

優選地，所述樣品臺觀察窗、源材料觀察窗的觀察口上分別設置有防塵蓋。當不需要觀察時，防塵蓋關閉觀察口，避免灰塵進入腔體。

優選地，所述防塵蓋以旋轉或是翻蓋的方式設置在與其對應的觀察口上。

附圖說明

圖1為本實施例的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。