[實用新型]一種硅片用磨片機

有效

• 申請號: 202020200094.8
• 申請日: 2020-02-24
• 公開（公告）號: CN211639292U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 張向東;顧凱峰;陳源;朱國強;毛榮昌
• 申請（專利權）人: 衢州晶哲電子材料有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B41/06;B24B41/00;B08B3/04
• 代理公司: 衢州維創維邦專利代理事務所(普通合伙) 33282
• 代理人: 高永志

本實用新型公開了一種硅片用磨片機，包括控制箱和排污管，所述控制箱的內部固定有廢料收集箱，且廢料收集箱的上方固定有驅動電機，所述驅動電機的輸出端連接有防堵桿，且防堵桿的上方固定有第一打磨片，所述第一打磨片的外部安裝有打磨箱，所述定位塊的內部連接有連接塊，且連接塊的內端固定有頂蓋，所述頂蓋的內部安裝有滴液管，所述滴液管的頂端連接有儲存箱，所述打磨箱的內部卡合連接有調節塊，所述控制箱的頂端固定有安裝軸，所述排污管設置在廢料收集箱的內部。該硅片用磨片機，加工后表面方便清洗，硅片清洗后表面潔凈度好，成品率高，且適用于不同規格的硅片，并且能夠有效的防止清洗過程中的廢液飛濺。

技術領域

本實用新型涉及硅片生產技術領域，具體為一種硅片用磨片機。

背景技術

硅片在加工過程中，最為關鍵的一步工序就是對硅片進行打磨，硅片在磨片時，原漿液使用AB液，對于磨片成品的后期清洗的要求就會更加的重要了；

但常見的硅片用磨片機加工后表面難清洗，硅片清洗后表面潔凈度差，成品率低，且不適用于不同規格的硅片，并且不能夠有效的防止清洗過程中的廢液飛濺，因此，我們提出一種硅片用磨片機，以便于解決上述中提出的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種硅片用磨片機，以解決上述背景技術中提出常見的硅片用磨片機加工后表面難清洗，硅片清洗后表面潔凈度差，成品率低，且不適用于不同規格的硅片，并且不能夠有效的防止清洗過程中的廢液飛濺的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種硅片用磨片機，包括控制箱和排污管，所述控制箱的內部固定有廢料收集箱，且廢料收集箱的上方固定有驅動電機，所述驅動電機的輸出端連接有防堵桿，且防堵桿的上方固定有第一打磨片，所述第一打磨片的外部安裝有打磨箱，且打磨箱的外側設置有定位塊，所述定位塊的內部連接有連接塊，且連接塊的內端固定有頂蓋，所述頂蓋的內部安裝有滴液管，且滴液管的下方設置有第二打磨片，所述滴液管的頂端連接有儲存箱，且儲存箱的右上方設置有總管，并且總管的末端連接有儲液箱，所述打磨箱的內部卡合連接有調節塊，且調節塊的內部連接有鎖定塊，并且調節塊的內端連接有固定塊，所述控制箱的頂端固定有安裝軸，且安裝軸的左側連接有調節軸，并且調節軸的左上方固定有液壓桿，所述排污管設置在廢料收集箱的內部。

優選的，所述防堵桿的縱截面呈“L”字形結構，且防堵桿與打磨箱的內表面相貼合。

優選的，所述定位塊關于頂蓋的中心軸線對稱設置，且頂蓋通過連接塊與定位塊卡合連接，并且定位塊的縱截面呈“L”字形結構。

優選的，所述滴液管在頂蓋的內部均勻設置，且滴液管的末端與儲存箱相連通。

優選的，所述調節塊在打磨箱的內部構成滑動結構，且調節塊通過鎖定塊與打磨箱固定連接，并且固定塊關于打磨箱的中心軸線對稱設置，而且固定塊的內表面呈圓弧狀結構。

優選的，所述調節軸與安裝軸構成轉動結構，且調節軸的左上方固定的液壓桿的輸出端連接有頂蓋。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該硅片用磨片機，加工后表面方便清洗，硅片清洗后表面潔凈度好，成品率高，且適用于不同規格的硅片，并且能夠有效的防止清洗過程中的廢液飛濺；

1.設置有儲液箱和滴液管，儲液箱的內部存儲有懸浮液，通過滴液管滴漏在打磨箱的內部，在懸浮液的作用下，硅片易清洗，表面潔凈度好，硅片表面花斑從原有2％，降低到現在0.3％，加工后表面方便清洗，硅片清洗后表面潔凈度好，漿液成本降低，按4寸硅片算，原來0.6元/每片，改進后降低到0.5元/片，成品率高；

2.設置有鎖定塊和調節塊，調節塊在打磨箱的內部發生滑動，并通過鎖定塊與打磨箱固定安裝，從而方便調節內表面呈圓弧狀結構的固定塊的位置，從而適用于不同規格的硅片；