[實用新型]一種壓電與電磁復合驅動的高速高精度物料傳輸系統有效
| 申請號： | 202020199206.2 | 申請日： | 2020-02-24 |
| 公開（公告）號： | CN212558048U | 公開（公告）日： | 2021-02-19 |
| 發明（設計）人： | 朱華;黃旭珍;趙淳生;崔云鵬 | 申請（專利權）人： | 南京航空航天大學 |
| 主分類號： | B65G25/06 | 分類號： | B65G25/06;B65G35/00 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人： | 韓天宇 |
| 地址： | 210016 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 壓電 電磁 復合 驅動 高速 高精度 物料 傳輸 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓電與電磁復合驅動的高速高精度物料傳輸系統，其特征在于，包括基座、宏動平臺、微動平臺和光柵尺位移傳感器；
所述宏動平臺采用電磁直線電機，宏動平臺的定子固定在基座上，宏動平臺的動子用于承載微動平臺；
所述光柵尺位移傳感器的光柵讀數頭設置在所述宏動平臺的動子上、標尺光柵沿宏動平臺動子的運動方向設置在宏動平臺的定子上，用于測量宏動平臺動子相對于定子的運動位移；
所述微動平臺采用壓電直線電機，微動平臺的定子固定在所述宏動平臺的動子上，微動平臺的動子用于裝載物料；微動平臺用于對宏動平臺的位移進行補償。
2.根據權利要求1所述的壓電與電磁復合驅動的高速高精度物料傳輸系統，其特征在于，所述微動平臺采用的壓電直線電機為板式單足直線電機，采用封裝設計。
3.根據權利要求1所述的壓電與電磁復合驅動的高速高精度物料傳輸系統，其特征在于，所述微動平臺的動子的軌道和宏動平臺動子的軌道平行。
4.根據權利要求1所述的壓電與電磁復合驅動的高速高精度物料傳輸系統，其特征在于，所述微動平臺的動子的軌道和宏動平臺動子的軌道垂直。
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