[實(shí)用新型]一種氮空位色心傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020180796.4
• 申請(qǐng)日: 2020-02-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212228979U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫豫蒙;王孟祺;王鵬飛;王亞;石發(fā)展;杜江峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01Q60/24
• 分類(lèi)號(hào): G01Q60/24
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 張雪嬌

1.一種氮空位色心傳感器，其特征在于，包括：

電路板；所述電路板上設(shè)置有電極；

音叉器件；所述音叉器件的末端與電路板的電極電氣連接；

轉(zhuǎn)接梁；所述轉(zhuǎn)接梁設(shè)置于所述音叉器件的前端；所述轉(zhuǎn)接梁可透過(guò)氮空位色心所發(fā)出的熒光及激發(fā)氮空位色心的激光；

金剛石基片；所述金剛石基片的一面與轉(zhuǎn)接梁相連接；相對(duì)的一面設(shè)置有金剛石納米柱波導(dǎo)陣列；所述金剛石納米柱波導(dǎo)上設(shè)置有氮空位色心。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮空位色心傳感器，其特征在于，所述金剛石納米柱波導(dǎo)為圓臺(tái)形狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氮空位色心傳感器，其特征在于，所述圓臺(tái)形狀的上表面直徑為200～800nm；邊傾角為5°～30°；高度為0.3～2μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮空位色心傳感器，其特征在于，所述金剛石納米柱波導(dǎo)上氮空位色心從表面開(kāi)始深度為3～50nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮空位色心傳感器，其特征在于，所述電路板的長(zhǎng)為1～50mm，寬為1～50mm，厚度為0.5～5mm；所述轉(zhuǎn)接梁的長(zhǎng)為0.1～3mm，寬為0.01～1mm，厚度為30～500μm；所述金剛石基片的長(zhǎng)為50～300μm，寬為50～300μm，厚度為10～80μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮空位色心傳感器，其特征在于，所述轉(zhuǎn)接梁為玻璃轉(zhuǎn)接梁和/或硅懸梁。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮空位色心傳感器，其特征在于，所述金剛石基片與轉(zhuǎn)接梁的一面為精密拋光面，其拋光粗糙度達(dá)到rms小于1nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮空位色心傳感器，其特征在于，還包括原子力顯微鏡系統(tǒng)；所述電路板的電極與原子力顯微鏡系統(tǒng)掃描成像反饋系統(tǒng)連接。