[實用新型]一種硅片拋光機所用的陶瓷盤上載車

有效

• 申請號: 202020178121.6
• 申請日: 2020-02-17
• 公開（公告）號: CN212170012U
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 安愛博;張晉英;張碧波;嚴政先;郭會波;郭旭;李文磊;霍立強;孫晨光;王彥君
• 申請（專利權）人: 中環領先半導體材料有限公司;天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/00
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 耿樹志

本實用新型提供了一種硅片拋光機所用的陶瓷盤上載車，包括車體、以及固定在車體上的承載組件，所述承載組件用于放置硅片拋光機所用的陶瓷盤；所述承載組件包括固定在車體頂部的第一固定托板、以及位于第一固定托板上方的第一升降托板，所述第一固定托板與第一升降托板之間安裝有升降組件，所述升降組件用于調節第一升降托板與第一固定托板之間的間隙。本實用新型所述的電機驅動第一絲杠轉動帶動第二升降托板上下移動，所述的電機驅動第二絲杠轉動帶動第一升降托板上下移動，克服了現有上載車的費力、安全性低以及結構不耐用等諸多缺點。

技術領域

本實用新型屬于陶瓷盤上載車技術領域，尤其是涉及一種硅片拋光機所用的陶瓷盤上載車。

背景技術

現有技術及其不足：硅片拋光工藝流程：(事先已經將陶瓷盤放到托板上)將托板連同陶瓷盤依次抬起，在每一層陶瓷盤上貼好硅片→將托板連同陶瓷盤依次抬起，用濕的無塵布擦拭每一層陶瓷盤，檢查硅片是否貼合牢靠→將滿載硅片的上載車推到指定的上載位置→由拋光機的機械手自動吸取陶瓷盤并進行硅片拋光→硅片拋光完畢后，由機械手將陶瓷盤放回上載車上→將上載車推到硅片下載處→將托板連同陶瓷盤依次抬起，在把每一層陶瓷盤上的硅片取下。上載車共有4層用來存放陶瓷盤的托板，每層托板可存放一個陶瓷盤。當將硅片貼到陶瓷盤上、擦拭陶瓷盤或將陶瓷盤上的硅片取下時，因為空間有限，需要將此層托板以上的各層托板依次向上抬起，才能進行操作。現有的上載車，每層托板的后部裝有一根轉軸，通過向上抬托板的前部，托板即可繞轉軸被抬起來。陶瓷盤和托板重40斤左右，工人每天要抬托板幾百次，對體力消耗非常大，而且容易被托盤砸傷；固定托盤的銷子，經常因磨損而變形，導致卡頓甚至失靈，存在極大的安全隱患。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型旨在提出一種硅片拋光機所用的陶瓷盤上載車，以解決現有上載車的費力、安全性低以及結構不耐用的問題。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種硅片拋光機所用的陶瓷盤上載車，包括車體、以及固定在車體上的承載組件，所述承載組件用于放置硅片拋光機所用的陶瓷盤；

所述承載組件包括固定在車體頂部的第一固定托板、以及位于第一固定托板上方的第一升降托板，所述第一固定托板與第一升降托板之間安裝有升降組件，所述升降組件用于調節第一升降托板與第一固定托板之間的間隙。

進一步的，所述車體包括車輪、車架，所述車輪固定于車架底部，所述承載組件固定于車架頂部。

進一步的，所述升降組件包括：第一絲杠、第二絲杠，所述第一固定托板固定于車架頂部，所述承載組件還包括第二固定托板、第二升降托板，所述第二固定托板固定于第一升降托板上方，所述第二升降托板位于第一升降托板與第二固定托板之間，所述第二升降托板上設有與第一絲杠相對應的第一絲杠孔，所述第一升降托板上有與第二絲杠相對應的第二絲杠孔，所述第一固定托板上設有與第一絲杠孔、第二絲杠孔分別對應的光孔，所述第二固定托板上設有與第一絲杠孔、第二絲杠孔分別對應的光孔，所述第一絲杠、第二絲杠垂直貫穿于第二固定托板、第二升降托板、第一升降托板、第一固定托板，所述第一絲杠、第二絲杠分別與第一絲杠孔、第二絲杠孔進行嚙合，所述第一絲杠、第二絲杠一端分別連接有電機，所述電機驅動第一絲杠、第二絲杠帶動第一升降托板、第二升降托板上下移動。

進一步的，所述車架為長方體架構，所述車架后方鄰近第一固定托板處設有放置臺，所述電機固定在放置臺上，所述電機的轉軸端通過聯軸器分別與第一絲杠、第二絲杠連接。

進一步的，所述第二固定托板、第二升降托板、第一升降托板、第一固定托板為長方體結構，一側設有開口，中間設有長方形凹槽，長方形凹槽內設有環形凹槽，所述長方形凹槽與環形凹槽內分別安裝有四氟墊塊，所述環形凹槽內的四氟墊塊上方安裝有陶瓷盤；