[實用新型]一種用于多種柱體噴涂的載物裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020173765.6
• 申請日: 2020-02-13
• 公開（公告）號: CN212069254U
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 袁全超
• 申請（專利權(quán)）人: 上海派正納米科技有限公司
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B05B15/40
• 代理公司: 北京沁優(yōu)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11684
• 代理人: 蔡巖巖

本實用新型提供了一種用于多種柱體噴涂的載物裝置；包括上板、下板、設(shè)置于所述上板和所述下板之間的側(cè)網(wǎng)以及以及若干連接所述上板和所述下板的支撐柱，所述支撐柱用于支撐所述側(cè)網(wǎng)；所述上板、所述下板和閉合的所述側(cè)網(wǎng)形成柱形的噴涂腔室，所述下板設(shè)置有支撐網(wǎng)，所述上板和下板之間設(shè)置側(cè)網(wǎng)；所述下板靠近所述涂覆腔室的一側(cè)設(shè)置錐形的支撐網(wǎng)；本實用新型的有益效果是：載物裝置設(shè)置側(cè)網(wǎng)，原料蒸氣均勻地擴散進(jìn)入噴涂腔室，便于在產(chǎn)品表面形成厚薄均一的沉積膜；支撐產(chǎn)品的支撐網(wǎng)設(shè)置為錐形，且可通過原料蒸氣，產(chǎn)品底部可以接觸原料蒸氣，大大減少單次沉積過程中產(chǎn)品不能接觸蒸氣的區(qū)域面積，兩次沉積后可以在產(chǎn)品表面形成較為均勻的沉積膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用于多種柱體噴涂的載物裝置。

背景技術(shù)

蒸氣沉積聚合，VDP是一種新型涂覆技術(shù)。主要過程為，將待涂覆產(chǎn)品放置在真空的涂覆腔室中，加熱原料，使原料蒸氣化后擴散至整個涂覆腔室，原料蒸氣接觸產(chǎn)品后在室溫下于產(chǎn)品表面自發(fā)聚合形成薄膜，這種覆膜方法具有不會殘留催化劑、固化溫度與室溫一致、覆膜不會受到熱脹冷縮的影響。然而，現(xiàn)有技術(shù)中，產(chǎn)品上靠近蒸氣來源的一端薄膜較厚，遠(yuǎn)離蒸氣來源的一端薄膜較薄，并且產(chǎn)品接觸載物裝置的一面因接觸不到蒸氣而無法覆膜。

因此需要一種可以實現(xiàn)產(chǎn)品整體均勻覆膜的載物裝置。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型中披露了一種用于多種柱體噴涂的載物裝置，本實用新型的技術(shù)方案是這樣實施的：

一種用于多種柱體噴涂的載物裝置，包括上板、下板、設(shè)置于所述上板和所述下板之間的側(cè)網(wǎng)以及以及若干連接所述上板和所述下板的支撐柱，所述支撐柱用于支撐所述側(cè)網(wǎng)；所述上板、所述下板和閉合的所述側(cè)網(wǎng)形成柱形的噴涂腔室，所述側(cè)網(wǎng)使原料蒸氣均勻進(jìn)入所述噴涂腔室；所述下板靠近所述噴涂腔室的一側(cè)設(shè)置有用于支撐產(chǎn)品的底部，且具有供所述原料蒸氣通過的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的支撐網(wǎng)，所述支撐網(wǎng)的形狀為錐形。

優(yōu)選地，所述支撐柱包括若干兩端分別固定至所述上板和所述下板的固定柱以及若干兩端分別活動連接至所述上板和所述下板的用于打開所述側(cè)網(wǎng)的活動柱。

優(yōu)選地，所述錐形支撐網(wǎng)固定至所述下板和所述固定柱。

優(yōu)選地，所述用于多種柱體噴涂的載物裝置，還包括用于將一條所述活動柱固定至一條所述固定柱的限制件；所述支撐柱的數(shù)量為n+1條，包括相鄰的m條所述固定柱以及相鄰的n+1-m條活動柱；當(dāng)所述限制件將一條所述活動柱固定至一條所述固定柱時，所述側(cè)網(wǎng)閉合，所述上板、下板和閉合的所述側(cè)網(wǎng)之間形成n邊形棱柱狀的涂覆腔室。

優(yōu)選地，所述支撐柱活動連接所述上板，所述支撐網(wǎng)固定至所述下板和所述支撐柱。

優(yōu)選地，所述支撐柱活動連接所述下板，所述支撐網(wǎng)固定至所述下板。

優(yōu)選地，所述上板背離所述噴涂腔室的一側(cè)設(shè)置有用于移動所述載物裝置的第一連接件。

優(yōu)選地，所述下板背離所述噴涂腔室的一側(cè)設(shè)置有用于固定所述載物裝置的第二連接件。

實施本實用新型的有益效果是：

1、載物裝置設(shè)置側(cè)網(wǎng)，原料蒸氣均勻地擴散進(jìn)入噴涂腔室，便于在產(chǎn)品表面形成厚薄均一的沉積膜；

2、支撐產(chǎn)品的支撐網(wǎng)設(shè)置為錐形，且可通過原料蒸氣，產(chǎn)品底部可以接觸原料蒸氣，大大減少單次沉積過程中產(chǎn)品不能接觸蒸氣的區(qū)域面積，兩次沉積后可以在產(chǎn)品表面形成較為均勻的沉積膜。

附圖說明