[實用新型]一種光學(xué)玻璃亞表面損傷觀測的截面拋光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020172726.4
• 申請日: 2020-02-16
• 公開（公告）號: CN211477810U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王華東;龐佩
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江師范大學(xué)
• 主分類號: G01N1/32
• 分類號: G01N1/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種光學(xué)玻璃亞表面損傷觀測的截面拋光裝置，包括含矩形槽的加載盤和用于粘結(jié)試樣的拋光陪片，與試樣粘結(jié)后的拋光陪片通過內(nèi)六角圓柱螺釘固定在加載盤的矩形槽側(cè)壁。加載盤底面的矩形槽垂直于加載盤表面，均勻分布于加載盤底面，外圓面上設(shè)有與矩形槽數(shù)量相同的帶沉頭螺紋孔，螺紋孔貫穿至矩形槽。拋光陪片的尺寸與試樣相同，材料為硅片或與試樣相同。本實用新型可保證拋光截面與試樣加工表面垂直，拋光完成后，可快速拆卸拋光陪片，方便分離試樣，保證檢測結(jié)果的可靠性，提高檢測效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于光學(xué)材料亞表面損傷觀測的專用夾具，具體涉及一種光學(xué)玻璃亞表面損傷觀測的截面拋光裝置。

背景技術(shù)

光學(xué)玻璃(熔融石英和K9玻璃)廣泛用于制備精密光學(xué)系統(tǒng)和高激光通量系統(tǒng)中的關(guān)鍵光學(xué)元件。光學(xué)玻璃的精密加工(磨削和研磨)過程會在材料表層殘留不同程度的損傷(劃痕、凹坑和裂紋等)。研究表明，亞表面損傷會顯著降低光學(xué)元件的激光損傷閾值，進而削弱光學(xué)系統(tǒng)的壽命和穩(wěn)定性。

由于亞表面損傷主要來自于磨削和研磨加工中磨粒與試樣表面的復(fù)雜壓入和劃入作用產(chǎn)生的機械損傷。為研究亞表面損傷產(chǎn)生機理、表征方法和影響規(guī)律，進而優(yōu)化超精密加工工藝，需要對亞表面損傷形貌進行觀測和分析。

截面顯微法常用于檢測光學(xué)玻璃亞表面損傷形貌。根據(jù)測量步驟的不同，截面顯微法可分為“粘結(jié)-加工-分離-觀測”和“加工-剖面-拋光-觀測”兩種檢測類型。前者由于試樣處于非整體的加工方式，粘結(jié)面的材料變形難以反映真實的加工應(yīng)力狀態(tài)，以致截面裂紋難以表征真實損傷形貌；后者采用先加工后剖面觀測的方式，截面裂紋為真實加工損傷。然而，截面拋光過程中須保證拋光面平整且與加工表面垂直，因此，有必要開發(fā)一種滿足上述截面拋光要求且試樣拆卸方便的截面拋光裝置。

發(fā)明內(nèi)容

為滿足截面顯微法觀測亞表面損傷的要求，本實用新型提供了一種光學(xué)玻璃亞表面損傷觀測的截面拋光裝置。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種光學(xué)玻璃亞表面損傷觀測的截面拋光裝置，包括含矩形槽的加載盤和用于粘結(jié)試樣的拋光陪片，與試樣粘結(jié)后的拋光陪片通過螺釘固定在加載盤的矩形槽側(cè)壁。

所述矩形槽垂直于加載盤表面，均勻分布于加載盤底面。

所述加載盤外圓面上設(shè)有與矩形槽數(shù)量相同的帶沉頭螺紋孔，螺紋孔貫穿至矩形槽。

所述拋光陪片的尺寸與試樣相同，材料為硅片或與試樣相同。

本實用新型的有益效果是，保證拋光截面與試樣加工表面垂直，試樣拋光完成后，可快速拆卸拋光陪片，方便分離試樣，保證檢測結(jié)果的可靠性，提高檢測效率。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步描述：

圖1為本實用新型所述的光學(xué)玻璃亞表面損傷觀測的截面拋光裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：1、加載盤；2、拋光陪片；3、試樣；4、內(nèi)六角圓柱螺釘。

具體實施方式

以下結(jié)合具體實施例對上述方案做進一步說明。

實施例：本實施例描述了一種光學(xué)玻璃亞表面損傷觀測的截面拋光裝置，如圖1所示，包括含矩形槽的加載盤1和用于粘結(jié)試樣的拋光陪片2。矩形槽的深度小于試樣高度，寬度大于試樣魚拋光陪片粘結(jié)后的寬度，長度大于試樣長度。矩形槽垂直于加載盤1表面，并均勻分布于加載盤底面。加載盤1圓周表面上設(shè)有與矩形槽數(shù)量相同的帶沉頭螺紋孔，螺紋孔貫穿至矩形槽。拋光陪片2尺寸與試樣3相同，材料通常選用硅片或與試樣相同。拋光陪片2與試樣3粘結(jié)后通過內(nèi)六角圓柱螺釘4固定在加載盤的矩形槽內(nèi)表面。粘結(jié)劑通常選用石蠟。

拋光前，使用石蠟將試樣3與拋光陪片2粘結(jié)，粘結(jié)過程保證兩者截面處于同一平面，粘結(jié)后將試樣垂直放入加載盤1的矩形槽，并使用內(nèi)六角圓柱螺釘4將試樣緊貼矩形槽側(cè)壁固定，保證拋光表面與加工表面的垂直；拋光后，拆卸內(nèi)六角圓柱螺釘4，取出粘結(jié)試樣的拋光陪片2，融化石蠟后取下試樣，用于試樣亞表面損傷觀測。