[實(shí)用新型]適用于噴金及噴碳儀的可伸縮、多角度、多層次載體支架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020169826.1
• 申請日: 2020-02-14
• 公開（公告）號: CN211887544U
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李瑞;李陽;李雄耀;王世杰
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院地球化學(xué)研究所
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;G01N23/2202
• 代理公司: 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 郭萍

本實(shí)用新型提供了適用于噴金及噴碳儀的可伸縮、多角度、多層次載體支架，包括底座、可伸縮的支撐桿支撐臂以及載物盤；所述支撐臂至少為兩根，支撐臂由一段固定段和至少兩段活動段連接而成，固定段位于支撐臂的端部，固定段與活動段之間，以及活動段與活動段之間的角度可調(diào)，以實(shí)現(xiàn)支撐臂的折疊伸縮；所述支撐桿的一端固定在底座上，各支撐臂的一端安裝在支撐桿的不同高度位置，載物盤安裝在各支撐臂的自由端端部，載物盤的數(shù)量與支撐臂的數(shù)量相同，載物盤與支撐臂之間的角度可調(diào)。使用該載體支架可有效提高噴金儀及噴碳儀的樣品腔的空間利用率，提高掃描電鏡分析噴金或噴碳前處理的效率并降低耗材成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于掃描電鏡分析技術(shù)領(lǐng)域，涉及適用于噴金及噴碳儀的可伸縮、多角度、多層次載體支架。

背景技術(shù)

掃描電鏡分析是目前最常規(guī)的用于觀測樣品表面形貌、成分、物相等物理信息的分析技術(shù)。該技術(shù)適用于除液態(tài)以外的任何類型的樣品，但使用的前提是樣品必須導(dǎo)電。對于絕緣樣品，通常需要在樣品表面進(jìn)行導(dǎo)電處理，例如噴金、噴碳等。

目前，普遍掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室都會配置常規(guī)的噴碳/金儀對樣品進(jìn)行表面導(dǎo)電處理，但這些用于做樣品表面導(dǎo)電處理的裝置仍然存在以下不足：（1）因廠家、型號不同，噴碳儀的大小規(guī)格、各自優(yōu)缺點(diǎn)亦不同。有些儀器可以同時放入十幾個大塊樣品，但噴碳時間較長，且形成的碳膜層較厚，不易于樣品表層的觀測；有些儀器雖然小巧，但每次只能放入有限大小及數(shù)量的樣品，在樣品數(shù)量較多的情況下，必須多次更換樣品，且需要重新拋光碳棒，操作繁雜；（2）頻繁拋光、消磨碳棒，操作繁雜，不僅浪費(fèi)資源，增加耗材成本，而且增加了樣品前處理的工作時間；（3）由于金靶耗材的價(jià)格昂貴，噴金儀的規(guī)格普遍較小，且儀器自帶的固定樣品托規(guī)格有限，導(dǎo)致放入樣品腔的塊狀樣品數(shù)量十分受限。基于此，為了更好地利用小型儀器帶來的便利，同時有效縮短樣品前處理時間，提供耗材成本更低、樣品腔內(nèi)的空間最大化利用的載體支架實(shí)屬必要。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種適用于噴金及噴碳儀的可伸縮、多角度、多層次載體支架，以有效提高噴金儀及噴碳儀的樣品腔的空間利用率，提高掃描電鏡分析噴金或噴碳前處理的效率并降低耗材成本。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下：

本實(shí)用新型提供的適用于噴金及噴碳儀的可伸縮、多角度、多層次載體支架，包括底座、可伸縮的支撐桿、支撐臂以及載物盤，

所述支撐臂至少為兩根，支撐臂由一段固定段和至少兩段活動段連接而成，固定段位于支撐臂的端部，固定段與活動段之間，以及活動段與活動段之間的角度可調(diào)，以實(shí)現(xiàn)支撐臂的折疊伸縮；

所述支撐桿的一端固定在底座上，各支撐臂的一端安裝在支撐桿的不同高度位置，載物盤安裝在各支撐臂的自由端端部，載物盤的數(shù)量與支撐臂的數(shù)量相同，載物盤與支撐臂之間的角度可調(diào)。

上述適用于噴金及噴碳儀的可伸縮、多角度、多層次載體支架的技術(shù)方案中，支撐臂的固定段的端部與支撐桿連接，支撐臂的活動段的端部與載物盤連接。更進(jìn)一步地，固定段與活動段之間、以及活動段與活動段之間通過連接部件連接，支撐臂的活動段的端部與載物盤之間也通過連接部件連接，所述連接部件為轉(zhuǎn)軸或萬向接頭。當(dāng)所述的連接部件為萬向接頭時，固定段與活動段之間、活動段與活動段之間、支撐臂連接載物盤的活動段與載物盤之間可以實(shí)現(xiàn)任意角度的調(diào)整；當(dāng)所述的連接部件為轉(zhuǎn)軸時，固定段與活動段之間、活動段與活動段之間、支撐臂連接載物盤的活動段與載物盤之間的角度可以在0°~180°之間調(diào)整。