[實用新型]一種光柵面內檢測的解耦式全對稱微陀螺

有效

• 申請號: 202020165659.3
• 申請日: 2020-02-13
• 公開（公告）號: CN212158620U
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 李孟委;郝飛帆;張瑞
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01C19/5726
• 分類號: G01C19/5726;G01C19/5733
• 代理公司: 北京惠智天成知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11681
• 代理人: 劉瑩瑩

1.一種光柵面內檢測的解耦式全對稱微陀螺，其特征在于，包括：鍵合基板(2)，支撐框架(1)，驅動質量塊(3、4)，檢測質量塊(5、6)，中心質量塊(13)，驅動組件和檢測組件；

所述支撐框架(1)設置在所述鍵合基板(2)上，所述支撐框架(1)內側面上分別開設有驅動座槽和檢測座槽，所述驅動質量塊(3、4)分別設置在驅動座槽內并通過驅動組件與支撐框架(1)連接；

所述驅動質量塊(3、4)遠離支撐框架(1)中心一側設置有可動梳齒(23、31)，所述驅動座槽內對應可動梳齒(23、31)的位置設置有固定梳齒(22、30)，所述可動梳齒(23、31)與固定梳齒(22、30)交叉配合；

所述檢測質量塊(5、6)分別設置在所述檢測座槽內并通過檢測組件與所述支撐框架(1)連接，所述檢測質量塊(5、6)上設置有可動光柵(20、21)；

所述中心質量塊(13)設置在所述支撐框架(1)中心位置，所述中心質量塊(13)通過驅動組件與相鄰的檢測質量塊(5、6)連接，所述中心質量塊(13)通過檢測組件與相鄰的驅動質量塊(3、4)連接；

所述鍵合基板(2)上設置有凹槽，所述凹槽內兩端對應所述可動光柵(20、21)的位置對稱設置有固定光柵(24、25)。

2.根據權利要求1所述的光柵面內檢測的解耦式全對稱微陀螺，其特征在于，所述驅動座槽設置在支撐框架(1)內側以Y軸為中心對稱的兩個內側面上，所述檢測座槽設置在支撐框架(1)內側以X軸為中心對稱的兩個內側面上。

3.根據權利要求1所述的光柵面內檢測的解耦式全對稱微陀螺，其特征在于，所述可動光柵(20、21)和固定光柵(24、25)均由多個單光柵組成，所述單光柵沿X軸方向設置，多個所述單光柵沿Y軸方向均勻間隔排列。

4.根據權利要求3所述的光柵面內檢測的解耦式全對稱微陀螺，其特征在于，所述可動光柵(20、21)與所述固定光柵(24、25)上下交叉排列。

5.根據權利要求1所述的光柵面內檢測的解耦式全對稱微陀螺，其特征在于，所述驅動組件包括：驅動反饋結構(7、8)和驅動結構(9、10、11、12)，所述驅動反饋結構(7、8)和驅動結構(9、10、11、12)均沿Y軸方向設置，其中一個驅動質量塊(3、4)兩側通過驅動結構(9、10、11、12)與所述支撐框架(1)連接，另一個驅動質量塊(3、4)兩側通過驅動反饋結構(7、8)與所述支撐框架(1)連接。

6.根據權利要求5所述的光柵面內檢測的解耦式全對稱微陀螺，其特征在于，所述驅動反饋結構(7、8)和驅動結構(9、10、11、12)均由驅動梁(27)和驅動連接塊(26)組成，四根所述驅動梁(27)沿Y軸平行設置且一端均與驅動連接塊(26)連接，外側兩根驅動梁(27)另一端與所述驅動質量塊(3、4)或中心質量塊(13)連接，內側兩根驅動梁(27)另一端與支撐框架(1)或檢測質量塊(5、6)連接。

7.根據權利要求1所述的光柵面內檢測的解耦式全對稱微陀螺，其特征在于，所述檢測組件包括：檢測結構(14、15、16、17、18、19)，所述檢測結構(14、15、16、17、18、19)均沿X軸方向設置。

8.根據權利要求7所述的光柵面內檢測的解耦式全對稱微陀螺，其特征在于，所述檢測結構(14、15、16、17、18、19)由檢測梁(29)和檢測連接塊(28)組成，四根所述檢測梁(29)沿X軸平行設置且一端均與檢測連接塊(28)連接，外側兩根檢測梁(29)另一端與所述檢測質量塊(5、6)或中心質量塊(13)連接，內側兩根檢測梁(29)另一端與支撐框架(1)或驅動質量塊(3、4)連接。