[實用新型]一種改進型微環諧振濾波器

有效

• 申請號: 202020161591.1
• 申請日: 2020-02-11
• 公開（公告）號: CN211318815U
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 王強;張志琴;李艷麗;岳磊;劉鑫
• 申請（專利權）人: 銅仁學院
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/12
• 代理公司: 北京勁創知識產權代理事務所(普通合伙) 11589
• 代理人: 徐家升

1.一種改進型微環諧振濾波器，包括襯底(1)，其特征在于，所述襯底(1)一側表面的兩端分別設有輸入直波導(3)和輸出直波導(4)，所述輸出直波導(4)和輸入直波導(3)之間呈互相平行的狀態，所述輸出直波導(4)和輸入直波導(3)的中部之間設有三個微環諧振腔(2)，所述微環諧振腔(2)呈圓環狀，所述微環諧振腔(2)等距分布在襯底(1)的表面，靠近所述輸入直波導(3)的微環諧振腔(2)與輸入直波導(3)之間形成第一耦合區域(5)，靠近所述輸出直波導(4)的微環諧振腔(2)與輸出直波導(4)之間形成第二耦合區域(6)，相鄰的所述微環諧振腔(2)之間形成第三耦合區域(7)，所述襯底(1)外側的側邊后部開設有第一通孔(8)，所述第一通孔(8)貫穿襯底(1)兩側的側邊，且所述第一通孔(8)與襯底(1)的端部相平齊，所述微環諧振腔(2)外部四周所對應襯底(1)上開設有第二通孔(9)，所述第二通孔(9)的下端與對應的第一通孔(8)的相連通。

2.根據權利要求1所述的一種改進型微環諧振濾波器，其特征在于，所述輸入直波導(3)和輸出直波導(4)均為桿狀的硅棒，所述輸入直波導(3)和輸出直波導(4)的寬度為180-220nm。

3.根據權利要求1所述的一種改進型微環諧振濾波器，其特征在于，所述微環諧振腔(2)為硅環，且所述微環諧振腔(2)的外徑為950-1050nm、內徑為780-820nm。

4.根據權利要求1所述的一種改進型微環諧振濾波器，其特征在于，所述襯底(1)為三氧化二鋁板，所述微環諧振腔(2)、輸入直波導(3)和輸出直波導(4)的高度均為90-110nm，且所述微環諧振腔(2)、輸入直波導(3)和輸出直波導(4)嵌入至襯底(1)內的深度為40-50nm。

5.根據權利要求1所述的一種改進型微環諧振濾波器，其特征在于，所述第一耦合區域(5)、所述第二耦合區域(6)、所述第三耦合區域(7)的間距均為18-22nm。