[實用新型]一種單晶爐尾氣連續在線回收裝置

有效

• 申請號: 202020159062.8
• 申請日: 2020-01-31
• 公開（公告）號: CN211712639U
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 朱剛;汪濤;封紅軍
• 申請（專利權）人: 朱剛
• 主分類號: C01B23/00
• 分類號: C01B23/00;B01D53/88;B01D53/46;B01D53/62;B01D53/72
• 代理公司: 沈陽智龍專利事務所(普通合伙) 21115
• 代理人: 耿浩

本實用新型涉及一種單晶爐尾氣連續在線回收裝置，C組設備包括預加熱器、預催化反應器和預冷卻器串聯在一起的設備組；A組設備包括由加熱器A、催化反應器A和冷卻器A₁串聯在一起的設備組，還包括由反應器A和冷卻器A₂串聯在一起的設備組；B組設備包括由加熱器B、催化反應器B和冷卻器B₁串聯在一起的設備組，還包括由反應器B和冷卻器B₂串聯在一起的設備組；單晶爐尾氣首先經尾氣入口進入C組設備進行預脫氧，然后按工作和再生的步驟交替進入A組和B組設備，A組設備和B組設備分別處于一組工作過程一組再生過程，兩種過程循環交替進行，以實現單晶爐尾氣的連續回收。本實用新型穩定并且可靠。

技術領域

本實用新型屬于氣體回收設備領域，涉及一種單晶爐尾氣連續在線回收裝置。

背景技術

在采用減壓充氬法生產太陽能電池用單晶硅時，使用真空泵抽出單晶爐內的尾氣。尾氣主要成分為氬氣，同時尾氣中含有大量的氫氣、烷烴、一氧化碳及二氧化碳等雜質，且雜質含量相對較高，該尾氣直接排放會對環境造成污染。經氬氣連續在線回收裝置去除該尾氣中所含的雜質首先對保護環境有重大意義，同時回收的高純度氬氣可以回用到單晶硅的生產過程中，對節能降耗具有重大的經濟效益。現有技術中的單晶爐尾氣回收系統為間歇式的氬氣回收，在氬氣的回收過程中因管路故障或人為操作造成的額外泄露會引起回收氬氣純度下降、無法回用；系統再生時間過長經常造成無法連續工作；催化劑活性下降甚至活性喪失會造成的氬氣回收系統失效。

實用新型內容

實用新型目的

為規避在氬氣回收過程中，因生產過程中的故障或人為操作造成的額外泄露引起回收氬氣純度下降，無法回用的風險；為規避在氬氣回收過程中，因系統再生時間過長造成的無法連續工作的風險；為規避在氬氣回收過程中，因系統再生階段催化劑超溫造成的催化劑活性下降甚至活性喪失造成的氬氣回收系統失效的風險，本實用新型提出了一種穩定并且可靠的單晶爐尾氣連續在線回收裝置。

技術方案