[實用新型]脫膠分片裝置

有效

• 申請號: 202020151282.6
• 申請日: 2020-02-03
• 公開（公告）號: CN211993642U
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 陳建銘;盧健平
• 申請（專利權）人: 徐州鑫晶半導體科技有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 肖陽

1.一種脫膠分片裝置，所述脫膠分片裝置內設有加熱組件和熱水，所述脫膠分片裝置上方設有承載組件，所述承載組件包括間隔設置的推板和護板，所述推板和護板沿切割后硅棒的長度方向設在其兩端，并且所述護板能夠沿所述切割后硅棒的長度方向移動，所述護板包括相連的護板部和分隔部，所述護板部上開設有沿所述切割后硅棒的長度方向貫穿的開口，與機械手臂相連的吸盤經所述開口與所述切割后硅棒的端部接觸，所述分隔部設在所述護板部上靠近所述推板的一側的上端部，并且所述分隔部與所述護板部之間形成容納間隙，

其特征在于，所述脫膠分片裝置進一步包括霧化噴淋組件，所述霧化噴淋組件設在所述容納間隙上方。

2.根據權利要求1所述的脫膠分片裝置，其特征在于，所述護板部上靠近所述推板的一側設有氣體噴嘴且朝向所述硅棒。

3.根據權利要求2所述的脫膠分片裝置，其特征在于，包括至少一對所述氣體噴嘴，成對所述氣體噴嘴對稱布置在所述護板部下端的側壁上。

4.根據權利要求1所述的脫膠分片裝置，其特征在于，所述容納間隙下方對應的護板部的側壁上設有可移動地氣體噴嘴，所述氣體噴嘴朝向所述硅棒。

5.根據權利要求4所述的脫膠分片裝置，其特征在于，所述護板部上靠近所述推板的一側上設有沿平行所述容納間隙方向貫穿的開槽，所述護板部上遠離所述推板的一側上設有沿所述切割后硅棒的長度方向延伸的通道，所述通道延伸至所述開槽，所述通道內設有固定部件且所述固定部件上延伸至所述開槽處，所述氣體噴嘴設在所述固定部件上靠近所述開槽的一端，所述護板部上遠離所述推板的一側上設有定位部件，所述定位部件的一端與所述固定部件的另一端可拆卸連接。

6.根據權利要求1所述的脫膠分片裝置，其特征在于，所述容納間隙的寬度為單個硅片厚度的1.4～1.6倍。