[實用新型]一種用于射頻匹配器的陶瓷齒輪以及射頻匹配器

有效

• 申請號: 202020146333.6
• 申請日: 2020-01-23
• 公開（公告）號: CN211715707U
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 袁瑛
• 申請（專利權）人: 常熟凱璽電子電氣有限公司
• 主分類號: F16H55/17
• 分類號: F16H55/17;F16H55/12;F16H55/06;H01G2/02;H01C1/01;H03H7/38
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 王懷瑜

1.一種用于射頻匹配器的陶瓷齒輪，包括齒輪主體，其特征在于，所述齒輪主體的材料為陶瓷，所述陶瓷齒輪還包括銅套，該銅套位于所述齒輪主體內部，所述銅套連接所述齒輪主體，所述銅套內設有通孔。

2.根據權利要求1所述的一種用于射頻匹配器的陶瓷齒輪，其特征在于，所述陶瓷齒輪還包括第一固定孔，該第一固定孔從所述陶瓷齒輪外表面貫通至所述銅套內的通孔，所述第一固定孔設有內螺紋，用于配合螺釘調節陶瓷齒輪的松緊。

3.根據權利要求2所述的一種用于射頻匹配器的陶瓷齒輪，其特征在于，所述陶瓷齒輪該設有第二固定孔，該第二固定孔從所述陶瓷齒輪外表面貫通至所述銅套內的通孔，所述第二固定孔設有內螺紋，用于配合螺釘調節陶瓷齒輪的松緊，所述第二固定孔垂直于所述第一固定孔。

4.根據權利要求2或3所述的一種用于射頻匹配器的陶瓷齒輪，其特征在于，所述內螺紋的規格為M3。

5.一種采用如權利要求1所述的陶瓷齒輪的射頻匹配器，包括電位器桿(5)、空氣電容桿(6)和電機桿(7)，其特征在于，所述射頻匹配器(4)還包括多個陶瓷齒輪，多個所述陶瓷齒輪分別連接所述電位器桿(5)、所述空氣電容桿(6)和/或所述電機桿(7)。

6.根據權利要求5所述的射頻匹配器，其特征在于，所述陶瓷齒輪按齒數的不同分為第一陶瓷齒輪(1)、第二陶瓷齒輪(2)和第三陶瓷齒輪(3)。

7.根據權利要求6所述的射頻匹配器，其特征在于，所述第一陶瓷齒輪(1)的齒數為28，所述第一陶瓷齒輪(1)連接所述電位器桿(5)。

8.根據權利要求6所述的射頻匹配器，其特征在于，所述第二陶瓷齒輪(2)的齒數為32，所述第二陶瓷齒輪(2)連接所述空氣電容桿(6)。

9.根據權利要求6所述的射頻匹配器，其特征在于，所述第三陶瓷齒輪(3)的齒數為40，所述第三陶瓷齒輪(3)連接所述電機桿(7)。