[實用新型]預潤濕設備及預潤濕系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020143732.7
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN211376599U
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發(fā)明（設計）人: 史蒂文·賀·汪
• 申請（專利權）人: 新陽硅密（上海）半導體技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 薛琦;羅洋

1.一種預潤濕設備，用于晶圓的預潤濕，包括第一箱體，所述第一箱體的內部具有容置腔，所述容置腔用于通入預潤濕液體，其特征在于，所述預潤濕設備還包括夾持部，所述夾持部設置在所述容置腔的內部，所述夾持部用于卡持所述晶圓的外圓面，以使所述晶圓浸沒于所述預潤濕液體中。

2.如權利要求1所述的預潤濕設備，其特征在于，所述夾持部具有卡槽，所述卡槽用于卡持所述晶圓的外圓面。

3.如權利要求2所述的預潤濕設備，其特征在于，自所述卡槽的入口至所述卡槽的底部，所述卡槽的開口的寬度減小。

4.如權利要求2所述的預潤濕設備，其特征在于，所述卡槽具有相對設置的第一面及第二面，所述第一面及所述第二面中至少一個設有溝槽。

5.如權利要求1中任意一項所述的預潤濕設備，其特征在于，所述預潤濕設備還包括防濺部，所述防濺部設置在所述容置腔的內部，所述防濺部套設于所述晶圓的外部，以使至少部分所述晶圓的側面被所述防濺部遮擋。

6.如權利要求5所述的預潤濕設備，其特征在于，所述防濺部包括兩個相對設置的寬板及兩個相對設置的窄板，兩個所述窄板設置在兩個所述寬板的兩端，所述晶圓插設于兩個所述寬板之間。

7.如權利要求6所述的預潤濕設備，其特征在于，所述寬板設有缺口，沿晶圓進入所述防濺部的方向，所述缺口的寬度減小。

8.如權利要求6所述的預潤濕設備，其特征在于，遠離所述晶圓進入所述防濺部的一端，所述窄板凸出于所述寬板。

9.如權利要求6所述的預潤濕設備，其特征在于，所述潤濕設備還包括卡板組件，所述卡板組件固定設置在所述第一箱體的內側面，所述卡板組件包括兩個相對設置的卡板，兩個所述寬板卡設于兩個所述卡板之間。

10.如權利要求6所述的預潤濕設備，其特征在于，所述寬板設有固定部，所述固定部用于固定所述夾持部。

11.如權利要求10所述的預潤濕設備，其特征在于，所述夾持部包括固定柱，所述固定柱的圓周方向設有卡槽，所述固定柱的兩端插分別設于所述寬板內。

12.如權利要求11所述的預潤濕設備，其特征在于，所述夾持部還包括套管，所述卡槽設置在所述套管上，所述套管套設于所述固定柱的外側面。

13.如權利要求11所述的預潤濕設備，其特征在于，所述固定柱的兩端均設有螺紋，所述固定柱的兩端分別設有螺母，所述螺母自所述寬板的外側面沿所述螺紋旋緊。

14.如權利要求11所述的預潤濕設備，其特征在于，所述固定部為固定槽，所述固定槽設置在所述寬板上，自遠離所述晶圓進入所述防濺部的一端，所述固定槽向所述晶圓進入所述防濺部的一端延伸。

15.如權利要求10所述的預潤濕設備，其特征在于，所述固定部的數量為多個，每個所述固定部內均設有夾持部。

16.如權利要求10所述的預潤濕設備，其特征在于，所述預潤濕設備包括多個所述防濺部，多個所述防濺部并列設置在所述容置腔內。

17.如權利要求5-16中任意一項所述的預潤濕設備，其特征在于，所述防濺部設置在所述第一箱體的底部。

18.如權利要求17所述的預潤濕設備，其特征在于，所述晶圓的側面與水平面的夾角的范圍為≥0度且≤90度。