[實用新型]洗凈機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020143117.6
• 申請日: 2020-01-22
• 公開（公告）號: CN211088225U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 江家誼
• 申請（專利權(quán)）人: 亞智科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京申翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11214
• 代理人: 趙夢雯;艾晶

本實用新型揭露一種洗凈機，為一種針對扇出型面板級封裝結(jié)構(gòu)的玻璃基板進行清洗作業(yè)的洗凈機，本實用新型洗凈機包括一機殼、復(fù)數(shù)組壓制機構(gòu)、復(fù)數(shù)個邊導(dǎo)輪、一水刀機構(gòu)、一噴管機構(gòu)、二刷輪機構(gòu)，以及一傳感器；藉此，本實用新型的洗凈機主要系藉由壓制機構(gòu)、噴管機構(gòu)與刷輪機構(gòu)的硬件設(shè)計，有效使用壓制機構(gòu)的壓制彈簧壓制扇出型面板級封裝結(jié)構(gòu)的基板以避免翹取，再由噴管機構(gòu)與刷輪機構(gòu)進行基板的清洗作業(yè)，確實達(dá)到提高對基板的夾持力而避免射片與滑片造成破片的問題，以及提升清洗過程的基板整平性與均一性等主要優(yōu)勢。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型系有關(guān)于一種洗凈機，尤其是指一種針對扇出型面板級封裝結(jié)構(gòu)的玻璃基板進行清洗作業(yè)的洗凈機。

背景技術(shù)

在習(xí)知的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)制造過程中，因為有熱處理的關(guān)系，幾乎都會遇到基板(substrate)的翹曲(warpage)現(xiàn)象，所謂的「翹曲」即是塑件未按照設(shè)計的形狀成形，卻發(fā)生表面扭曲的現(xiàn)象，翹曲的主要成因在于成形塑件之內(nèi)部溫度不均勻或不均勻的收縮，當(dāng)制備封裝結(jié)構(gòu)的感應(yīng)裝置或機臺因為翹曲現(xiàn)象而無法感應(yīng)到基板實際位置的時候，就容易發(fā)生滑片或射片的現(xiàn)象而導(dǎo)致破片的問題產(chǎn)生，再者，一般的感測裝置因為測頭較小，無法順利感應(yīng)到基板的位置，使得基板位置不對，更造成卡板的問題；因此，如何藉由創(chuàng)新的硬件設(shè)計，提高對基板的夾持力而避免射片與滑片造成破片的問題，仍是半導(dǎo)體封裝等相關(guān)產(chǎn)業(yè)的開發(fā)業(yè)者與相關(guān)研究人員需持續(xù)努力克服與解決的課題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所解決的技術(shù)問題在于，提供一種針對扇出型面板級封裝結(jié)構(gòu)的玻璃基板進行清洗作業(yè)的洗凈機，主要藉由壓制機構(gòu)、噴管機構(gòu)與刷輪機構(gòu)的硬件設(shè)計，有效使用壓制機構(gòu)的壓制彈簧壓制扇出型面板級封裝結(jié)構(gòu)的基板以避免翹取，再由噴管機構(gòu)與刷輪機構(gòu)進行基板的清洗作業(yè)，確實達(dá)到提高對基板的夾持力而避免射片與滑片造成破片的問題，以及提升清洗過程的基板整平性與均一性等主要優(yōu)勢。

本實用新型所采用的技術(shù)手段為：一種洗凈機，輸送一材料以進行清洗作業(yè)，洗凈機至少包括有一機殼、復(fù)數(shù)組壓制機構(gòu)、復(fù)數(shù)個邊導(dǎo)輪、一水刀機構(gòu)、一噴管機構(gòu)、 二刷輪機構(gòu)，以及一傳感器；機殼系包括有一入料口，以及一設(shè)置于入料口的高度限制輪，且機殼內(nèi)部容設(shè)有一容置空間，其中容置空間藉由入料口而與外部相通；復(fù)數(shù)組壓制機構(gòu)設(shè)置于容置空間并依序設(shè)置于高度限制輪相對于該入料口的另一側(cè)部，每一壓制機構(gòu)包括有一整平滾輪、一輸送滾輪，以及一壓制彈簧，其中整平滾輪設(shè)置于壓制彈簧下端部，而輸送滾輪系設(shè)置于整平滾輪的下端部；復(fù)數(shù)個邊導(dǎo)輪系沿著材料前進的方向而設(shè)置于壓制機構(gòu)之間；水刀機構(gòu)沿著材料前進的方向而設(shè)置于壓制機構(gòu)之間；噴管機構(gòu)沿著材料前進的方向而設(shè)置于水刀機構(gòu)的一端部，噴管機構(gòu)包括有一上噴管，以及一下噴管；二刷輪機構(gòu)沿著該材料前進的方向而設(shè)置于噴管機構(gòu)的一端部，每一刷輪機構(gòu)包括有一上刷輪，以及一下刷輪，其中上刷輪與下刷輪分別接觸材料的上表面與下表面；傳感器沿著材料前進的方向而設(shè)置于刷輪機構(gòu)的一端部。

在本實用新型的一個實施例中，材料為一扇出型面板級封裝結(jié)構(gòu)(Fan-Out PanelLevel Packaging，簡稱FOPLP)的基板(substrate)。

在本實用新型的一個實施例中，材料藉由輸送滾輪而由入料口朝向遠(yuǎn)離入料口的方向移動。

在本實用新型的一個實施例中，材料可進一步與整平滾輪接觸。

在本實用新型的一個實施例中，材料可進一步與邊導(dǎo)輪接觸，且邊導(dǎo)輪系引導(dǎo)材料于機殼的正中間移動。

在本實用新型的一個實施例中，水刀機構(gòu)為立式斜吹出水墻，以阻擋材料上表面的液體往入料口方向流動。

在本實用新型的一個實施例中，噴管機構(gòu)可進一步設(shè)置有一分別連接上噴管與下噴管的泵浦，泵浦加壓液體以由上噴管與下噴管噴出。

在本實用新型的一個實施例中，上刷輪與下刷輪以同方向的態(tài)樣旋轉(zhuǎn)。

在本實用新型的一個實施例中，上刷輪與下刷輪以不同方向的態(tài)樣旋轉(zhuǎn)。