[實(shí)用新型]水汽分離排放裝置及電鍍?cè)O(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020140982.5
• 申請(qǐng)日: 2020-01-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211799384U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭文;郁海洋
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯長(zhǎng)電半導(dǎo)體（江陰）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B01D45/08
• 分類(lèi)號(hào): B01D45/08
• 代理公司: 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實(shí)用新型提供一種水汽分離排放裝置及電鍍?cè)O(shè)備。該裝置包括第一氣液分離罐、第二氣液分離罐及抽氣泵，第一氣液分離罐和第二氣液分離罐均包括進(jìn)液口、排液口及排氣口；第一氣液分離罐的進(jìn)液口與待排放的氣液源相連通，排氣口與第二氣液分離罐的進(jìn)液口相連通；第二氣液分離罐的排氣口與抽氣泵相連通，且第二氣液分離罐內(nèi)設(shè)置有除霧器，除霧器位于第二氣液分離罐的排氣口上；含有水汽的氣體經(jīng)第一氣液分離罐進(jìn)行第一次氣液分離后，進(jìn)入第二氣液分離罐中進(jìn)行第二次氣液分離。本實(shí)用新型可以顯著改善水汽分離排放的效果，有助于延長(zhǎng)氣體排放管路和抽氣泵的使用壽命，有助于減少清洗維修作業(yè)工作量，降低生產(chǎn)成本，提高職業(yè)健康水平。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種水汽分離排放裝置及電鍍?cè)O(shè)備。

背景技術(shù)

電鍍是指在含有預(yù)鍍金屬的鹽類(lèi)溶液中，以被鍍基體金屬為陰極，通過(guò)電解作用，使鍍液中預(yù)鍍金屬的陽(yáng)離子在基體金屬表面沉積形成鍍層的一種表面加工方法，是半導(dǎo)體芯片制造中用來(lái)形成金屬互連結(jié)構(gòu)的一種常用工藝。在半導(dǎo)體電鍍生產(chǎn)中，必須進(jìn)行水汽分離使得電鍍液體無(wú)氣泡以確保產(chǎn)品質(zhì)量。現(xiàn)有的水汽分離排放裝置是利用抽氣泵，通過(guò)管路連接到一個(gè)具有液體排放口和氣體排放口的罐體中以形成實(shí)時(shí)抽真空管路，將分離出來(lái)的水汽源源不斷地通過(guò)抽氣泵抽出以進(jìn)行排放。但是現(xiàn)有的水汽分離排放裝置通常為單一罐體結(jié)構(gòu)，且罐體內(nèi)沒(méi)有任何輔助水汽分離結(jié)構(gòu)而僅通過(guò)液體的自然沉降實(shí)現(xiàn)水汽分離，難以完全實(shí)現(xiàn)水汽的徹底分離，故氣體排放管路中的氣體還是會(huì)混有液體。而電鍍行業(yè)的化學(xué)品有腐蝕性且極易形成結(jié)晶，易造成氣體排放管路堵塞和/或?qū)е鲁闅獗脫p壞，需要經(jīng)常更換抽氣泵配件和清理氣體排放管路，導(dǎo)致生產(chǎn)成本的上升和設(shè)備產(chǎn)出率的下降。同時(shí)，因排放氣體具有刺激性氣味及腐蝕性，更換配件和清洗氣體排放管路的過(guò)程中還容易對(duì)工作人員的健康造成威脅。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種水汽分離排放裝置及電鍍?cè)O(shè)備，用于解決現(xiàn)有的電鍍?cè)O(shè)備中，因水汽分離排放裝置難以實(shí)現(xiàn)完全的水汽分離，導(dǎo)致最終排放的氣體中仍含有有毒液體，容易導(dǎo)致氣體排放管路的堵塞和/或抽氣泵的損壞，導(dǎo)致生產(chǎn)成本上升和設(shè)備產(chǎn)出率下降，以及更換配件和清洗氣體排放管路的過(guò)程中容易對(duì)工作人員的健康造成危害等問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種水汽分離排放裝置，所述水汽分離排放裝置包括第一氣液分離罐、第二氣液分離罐及抽氣泵，所述第一氣液分離罐和所述第二氣液分離罐均包括進(jìn)液口、排液口及排氣口；所述第一氣液分離罐的進(jìn)液口與待排放的氣液源相連通，所述第一氣液分離罐的排氣口與所述第二氣液分離罐的進(jìn)液口相連通，所述第二氣液分離罐的排氣口與所述抽氣泵相連通，且所述第二氣液分離罐內(nèi)設(shè)置有除霧器，所述除霧器位于所述第二氣液分離罐的排氣口上；含有水汽的氣體經(jīng)所述第一氣液分離罐進(jìn)行第一次氣液分離后，進(jìn)入所述第二氣液分離罐中進(jìn)行第二次氣液分離。

可選地，所述第二氣液分離罐內(nèi)還設(shè)置有擋板，所述擋板位于所述第二氣液分離罐的進(jìn)液口與排氣口之間，用于將液體導(dǎo)流到所述第二氣液分離罐內(nèi)。

在一可選方案中，所述擋板的一端與所述第二氣液分離罐的進(jìn)液口所在的側(cè)壁相連接且位于所述第二氣液分離罐的進(jìn)液口的上方，另一端向所述第二氣液分離罐的底部延伸且優(yōu)選與底部具有間距。

在另一可選方案中，所述擋板的一端與所述第二氣液分離罐的頂部相連接，另一端向所述第二氣液分離罐的底部延伸且優(yōu)選與底部具有間距。

在又一可選方案中，所述擋板包括沿所述第二氣液分離罐的高度方向設(shè)置的第一擋板和沿所述第二氣液分離罐的寬度方向設(shè)置的第二擋板。

在又一可選方案中，所述第二氣液分離罐上還設(shè)置有導(dǎo)氣管路，所述導(dǎo)氣管路自所述第二氣液分離罐的外部延伸到所述第二氣液分離罐的內(nèi)部且與所述第二氣液分離罐的底部具有間距，所述第二氣液分離罐的排氣口設(shè)置于所述導(dǎo)氣管路位于所述第二氣液分離罐內(nèi)的一端，所述導(dǎo)氣管路的另一端與所述抽氣泵相連通。