[實用新型]一種具有通道測試功能的探針卡

有效

• 申請號: 202020140748.2
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN212459794U
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 郭丹;成家柏
• 申請（專利權）人: 杭州廣立微電子股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 杭州豐禾專利事務所有限公司 33214
• 代理人: 王靜

1.一種具有通道測試功能的探針卡，包括電路板、至少兩個探針和至少兩個電路通道，其特征在于，所述具有通道測試功能的探針卡還包括轉換電路、控制模塊和至少兩個測試元件；轉換電路、測試元件和電路通道設置在電路板上；

所述轉換電路包括開關控制器件和多個開關器件，開關控制器件的輸出端連接到開關器件；每個電路通道各自連接有兩個開關器件，設為開關器件A和開關器件B；每個電路通道的開關器件A各自與一個測試元件的一端連接，且所有測試元件的另一端連接到一起；每個電路通道的開關器件B各自與一個探針的一端電性連接，每個探針的另一端用于電性連接待測晶圓芯片；

所述控制模塊集成有至少一個VCC端、至少一個GND端和多個控制信號端；每個開關器件分別連接到一對VCC端和GND端，開關控制器件分別連接到一對VCC端和GND端，用于對開關器件和開關控制器件供電；開關控制器件還連接到若干控制信號端，用于提供開關控制器件對開關器件的選擇信號；控制模塊通過控制總線連接到測試機，用于通過外部的測試機對控制模塊進行控制；

測試機通過控制模塊向開關控制器件傳輸選擇信號，以選擇連通的開關器件，進而實現：控制所有開關器件B連通時，所述具有通道測試功能的探針卡能作為探針卡使用，用于晶圓芯片測試；控制任意兩個開關器件A連通時，能利用測試元件對這兩個開關器件A所連接的電路通道進行測試。

2.根據權利要求1所述的一種具有通道測試功能的探針卡，其特征在于，所述開關器件采用干簧繼電器、水銀繼電器或者傳輸門。

3.根據權利要求1所述的一種具有通道測試功能的探針卡，其特征在于，所述開關控制器件包括譯碼器，譯碼器輸出信號選擇連通的開關器件。

4.根據權利要求1所述的一種具有通道測試功能的探針卡，其特征在于，所述測試元件采用電阻或者三極管。