[實用新型]終點檢測裝置和終點檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020137122.6
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN211238175U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉昕;董伯輝;孫啟磊;王玉;王立
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京睿派知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11597
• 代理人: 劉鋒

1.一種終點檢測裝置，用于檢測刻蝕腔內(nèi)的全光譜信號，其特征在于，所述裝置包括：

傳輸組件，與所述刻蝕腔連接；

信號收集器，設(shè)置于所述傳輸組件內(nèi)，用于接收刻蝕腔內(nèi)的全光譜信號；

光譜收集器，與所述信號收集器連接，用于將所述全光譜信號轉(zhuǎn)化為多個不同的單色光譜信號；

其中，所述傳輸組件具有傳輸通道，所述傳輸通道的長度大于所述刻蝕腔的腔壁厚度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的終點檢測裝置，其特征在于，所述傳輸通道的直徑為5mm-10mm，所述傳輸通道的長度為20mm-30mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的終點檢測裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

轉(zhuǎn)接法蘭，與所述刻蝕腔連接，用于固定所述傳輸組件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的終點檢測裝置，其特征在于，所述傳輸組件底部具有卡臺；

所述轉(zhuǎn)接法蘭具有與所述卡臺相適配的第一沉孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的終點檢測裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)接法蘭包括凸臺，所述凸臺與所述刻蝕腔連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的終點檢測裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

透明擋片，設(shè)置于所述傳輸通道的頂部，用于遮擋刻蝕腔內(nèi)的反應(yīng)聚合物；

固定擋片，設(shè)置于所述傳輸組件和所述光譜收集器之間，用于固定所述信號收集器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的終點檢測裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)接法蘭底部設(shè)置有與所述固定擋片相適配的第二沉孔，所述第二沉孔大于所述第一沉孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的終點檢測裝置，其特征在于，所述傳輸組件為陶瓷套筒。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的終點檢測裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

防塵罩，設(shè)置于所述光譜收集器的外側(cè)，與所述刻蝕腔固定連接。

10.一種終點檢測系統(tǒng)，用于檢測刻蝕腔內(nèi)的全光譜信號，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：

終點檢測裝置，包括光譜收集器，所述光譜收集器用于將所述全光譜信號轉(zhuǎn)化為多個不同的單色光譜信號；

處理器，與所述光譜收集器連接，用于處理所述單色光譜信號；

其中，所述終點檢測裝置還包括：

傳輸組件，與所述刻蝕腔連接，所述傳輸組件具有傳輸通道，所述傳輸通道的長度大于所述刻蝕腔的腔壁厚度；

信號收集器，設(shè)置于所述傳輸組件的傳輸通道內(nèi)，所述信號收集器與所述光譜收集器連接，用于將從所述刻蝕腔內(nèi)接收的全光譜信號傳輸給所述光譜收集器。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的終點檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸通道的直徑為5mm-10mm，所述傳輸通道的長度為20mm-30mm。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的終點檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述終點檢測裝置還包括：

轉(zhuǎn)接法蘭，與所述刻蝕腔連接，用于固定所述傳輸組件。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的終點檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸組件底部具有卡臺；

所述轉(zhuǎn)接法蘭具有與所述卡臺相適配的第一沉孔。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的終點檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)接法蘭包括凸臺，所述凸臺與所述刻蝕腔連接。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的終點檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述終點檢測裝置還包括：

透明擋片，設(shè)置于所述傳輸通道的頂部，用于遮擋刻蝕腔內(nèi)的反應(yīng)聚合物；

固定擋片，設(shè)置于所述傳輸組件和所述光譜收集器之間，用于固定所述信號收集器。