[實用新型]一種紫外激光器

有效

• 申請號: 202020131585.1
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN211320566U
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 常峰;丁闖;周楊;蔣峰
• 申請（專利權）人: 蘇州創鑫激光科技有限公司;深圳市創鑫激光股份有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109;H01S3/11;H01S3/081;H01S3/16;B23K26/362;B23K26/064
• 代理公司: 深圳瑞天謹誠知識產權代理有限公司 44340
• 代理人: 溫青玲

1.一種紫外激光器，其特征在于，包括在光路上依次設置的泵浦源、聚焦耦合組件、第一全反鏡、激光晶體、調Q晶體、分光件、三倍頻晶體、二倍頻晶體和第二全反鏡，所述紫外激光器還包括導光組件；第一全反鏡和第二全反鏡組成諧振腔；其中，分光件靠近三倍頻晶體的出射側鍍有紫外光和綠光的高反膜以及紅外光的增透膜，導光組件用于接收分光件反射出的紫外光和綠光，并將紫外光和部分綠光沿著同一光軸反射或透射出諧振腔外。

2.如權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述導光組件包括一透射鏡，所述透射鏡接收分光件的反射光的面鍍有綠光的透射膜和紫外光的增透膜，所述透射鏡將紫外光和部分綠光沿著同一光軸透射出諧振腔外；

或，

所述導光組件包括第一反射鏡，所述第一反射鏡接收分光件的反射光的面鍍有綠光的反射膜和紫外光的高反膜，第一反射鏡將紫外光和部分綠光沿著同一光軸反射出諧振腔外。

3.如權利要求2所述的紫外激光器，其特征在于，所述透射鏡鍍的綠光的透射膜是漸變型透射膜，所述透射鏡與電機電連接，控制開關與電機電連接，控制開關控制電機轉動，電機轉動使得所述透射鏡的不同區域置于光路中；

所述第一反射鏡鍍的綠光的反射膜是漸變型反射膜，所述第一反射鏡與電機電連接，控制開關與電機電連接，控制開關控制電機轉動，電機轉動使得所述第一反射鏡的不同區域置于光路中。

4.如權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述導光組件包括第二反射鏡和第三反射鏡，第二反射鏡接收分光件的反射光的面鍍有紫外光的高反膜和綠光的透射膜，第三反射鏡的接收第二反射鏡的反射光的面鍍有紫外光的高反膜和綠光的反射膜，第三反射鏡將紫外光和部分綠光沿著同一光軸反射出諧振腔外。

5.如權利要求4所述的紫外激光器，其特征在于，所述第三反射鏡鍍的綠光的反射膜是漸變型反射膜，所述第三反射鏡與電機電連接，控制開關與電機電連接，控制開關控制電機轉動，電機轉動使得所述第三反射鏡的不同區域置于光路中。

6.如權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述導光組件包括第四反射鏡、第五反射鏡和第六反射鏡，第四反射鏡接收分光件的反射光的面鍍有紫外光和綠光的高反膜，第五反射鏡接收第四反射鏡的反射光的面鍍有紫外光的高反膜和綠光的透射膜，第六反射鏡接收第五反射鏡的反射光的面鍍有紫外光的高反膜和綠光的反射膜；所述第六反射鏡將紫外光和部分綠光沿著同一光軸反射出諧振腔外。

7.如權利要求6所述的紫外激光器，其特征在于，所述第六反射鏡鍍的綠光的反射膜是漸變型反射膜，所述第六反射鏡與電機電連接，控制開關與電機電連接，控制開關控制電機轉動，電機轉動使得第六反射鏡的不同區域置于光路中；所述第四反射鏡、第五反射鏡和第六反射鏡均是45°反射鏡。

8.如權利要求3所述的紫外激光器，其特征在于，所述漸變型透射膜對入射到漸變型透射膜上的綠光的透射率由0％至100％漸變。

9.如權利要求3、5或7所述的紫外激光器，其特征在于，所述漸變型反射膜對入射到漸變型反射膜上的綠光的反射率由0％至100％漸變。

10.如權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述第一全反鏡和第二全反鏡都是固定的全反鏡，或者，都是角度可調節的全反鏡，或者，其中一個是固定的全反鏡，另一個是角度可調節的全反鏡；所述第一全反鏡和第二全反鏡是平面鏡或凹凸鏡；所述第一全反鏡和第二全反鏡鍍有紅外光的高反膜；所述調Q晶體是電光調Q晶體或聲光調Q晶體；所述分光件是偏振片。