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[實用新型]一種銅箔基板堿性蝕刻廢液回收過濾裝置有效

專利信息
申請號: 202020126890.1 申請日: 2020-01-19
公開(公告)號: CN211676682U 公開(公告)日: 2020-10-16
發明(設計)人: 賴志晴 申請(專利權)人: 江門市江海區創輝特電子有限公司
主分類號: B01D36/04 分類號: B01D36/04
代理公司: 北京卓特專利代理事務所(普通合伙) 11572 代理人: 段宇
地址: 529000 廣東省江門市*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 銅箔 堿性 蝕刻 廢液 回收 過濾 裝置
【權利要求書】:

1.一種銅箔基板堿性蝕刻廢液回收過濾裝置,包括蝕刻機(1)及過濾裝置(2),其特征在于:所述蝕刻機(1)設有輸送帶(3),所述輸送帶(3)上方設有噴淋頭(4),輸送帶(3)的下方設有接液盤(5),所述接液盤(5)呈漏斗狀,接液盤(5)底部設有送液口,接液盤(5)分別通過第一管道(6)及第二管道(7)與第一靜置池(8)及第二靜置池(9)連通,所述第一管道(6)及所述第二管道(7)分別設有第一閥門(19)及第二閥門(20),第一靜置池(8)及第二靜置池(9)分別通過第三管道(12)及第四管道(13)與第一抽送泵(10)及第二抽送泵(11)的輸入端連通,所述第三管道(12)及所述第四管道(13)的輸入端分別與第一靜置池(8)及第二靜置池(9)的底部存在間隙,所述第一抽送泵(10)及所述第二抽送泵(11)的輸出端分別與所述過濾裝置(2)的輸入端連通,過濾裝置(2)包括若干個并聯連接的過濾器(14),過濾裝置(2)的輸出端與廢液儲存池(21)連通。

2.根據權利要求1所述的銅箔基板堿性蝕刻廢液回收過濾裝置,其特征在于:所述第一靜置池(8)及所述第二靜置池(9)均設有上液位傳感器(15)及下液位傳感器(16)。

3.根據權利要求1所述的銅箔基板堿性蝕刻廢液回收過濾裝置,其特征在于:所述過濾器(14)的輸入端均設有第三閥門(17),過濾器(14)的輸出端設有流量計。

4.根據權利要求1所述的銅箔基板堿性蝕刻廢液回收過濾裝置,其特征在于:所述第一靜置池(8)及所述第二靜置池(9)的底部設有排放閥門。

5.根據權利要求1所述的銅箔基板堿性蝕刻廢液回收過濾裝置,其特征在于:所述廢液儲存池(21)設有采樣口。

6.根據權利要求1所述的銅箔基板堿性蝕刻廢液回收過濾裝置,其特征在于:所述第一閥門(19)及所述第二閥門(20)為電磁閥。

7.根據權利要求1所述的銅箔基板堿性蝕刻廢液回收過濾裝置,其特征在于:所述送液口處設有過濾網(18)。

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