[實用新型]一種金剛石沉積裝置

有效

• 申請號: 202020123107.6
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN211522314U
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 王忠強;丁雄傑;王琦;張國義
• 申請（專利權）人: 北京大學東莞光電研究院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/513
• 代理公司: 東莞恒成知識產權代理事務所(普通合伙) 44412
• 代理人: 鄧燕

本實用新型涉及金剛石制備技術領域，具體涉及一種金剛石沉積裝置，包括沉積腔、沉積臺和等離子體單元，沉積臺裝設于沉積腔內，還包括位置控制裝置，等離子體單元設有等離子體噴嘴，等離子體噴嘴設于沉積腔內，位置控制裝置與等離子體噴嘴連接，與現有技術相比，本實用新型通過設置位置控制裝置，可以控制等離子體噴嘴與沉積臺的相對位置，根據沉積需要在沉積臺的不同位置進行沉積，從而實現沉積出復雜形狀的大面積金剛石薄膜。

技術領域

本實用新型涉及金剛石制備技術領域，特別是涉及一種金剛石沉積裝置。

背景技術

金剛石具有優異的物理化學性能，在機械、電子、生物醫療等領域具有重要的應用價值，為了拓展這些應用，需要制備出大面積或復雜形狀的金剛石薄膜。

在現有的各種金剛石薄膜制備裝置中，無法沉積復雜形狀的大面積金剛石薄膜。

鑒于上述技術問題，有必要提供一款新的金剛石沉積裝置，以更好地解決上述技術問題。

發明內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種金剛石沉積裝置，其結構簡單，設計合理，便于復雜形狀的大面積金剛石薄膜的沉積。

本實用新型采用的技術方案是：

一種金剛石沉積裝置，包括沉積腔、沉積臺和等離子體單元，沉積臺裝設于沉積腔內，還包括位置控制裝置，等離子體單元設有等離子體噴嘴，等離子體噴嘴設于沉積腔內，位置控制裝置與等離子體噴嘴連接。

對上述技術方案的進一步改進為，等離子體單元裝有甲烷與氫氣的混合工藝氣體，等離子體噴嘴內設有石墨電極，混合工藝氣體可經等離子體噴嘴作用于沉積臺上的待沉積金剛石。

對上述技術方案的進一步改進為，位置控制裝置為三維驅動機構。

對上述技術方案的進一步改進為，還包括壓力控制單元，壓力控制單元與沉積腔連接。

對上述技術方案的進一步改進為，壓力控制單元設有真空泵，真空泵通過管道與沉積腔連接。

對上述技術方案的進一步改進為，還包括溫度控制裝置，溫度控制裝置設為熱交換器，熱交換器貼合沉積臺底部設置。

本實用新型的有益效果如下：

本實用新型包括沉積腔、沉積臺和等離子體單元，沉積臺裝設于沉積腔內，還包括位置控制裝置，等離子體單元設有等離子體噴嘴，等離子體噴嘴設于沉積腔內，位置控制裝置與等離子體噴嘴連接，與現有技術相比，本實用新型通過設置位置控制裝置，可以控制等離子體噴嘴與沉積臺做相對位置，根據沉積需要在沉積臺的不同位置進行沉積，從而實現沉積出復雜形狀的大面積金剛石薄膜。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

附圖標記說明：1.等離子體噴嘴、2.沉積臺、3.沉積腔、4.位置控制裝置、5.壓力控制單元、6.溫度控制裝置。

具體實施方式

下面將結合附圖對本實用新型作進一步的說明。

如圖1所示，本實施例所述的金剛石沉積裝置，包括沉積腔3、沉積臺2和等離子體單元，沉積臺2裝設于沉積腔3內，還包括位置控制裝置4，等離子體單元設有等離子體噴嘴1，等離子體噴嘴1設于沉積腔3內，位置控制裝置4與等離子體噴嘴1連接，本實施例結構簡單，設計合理，在實際使用過程中，通過溫度控制裝置6調節沉積臺2的溫度，通過位置控制裝置4操控等離子體噴嘴1與沉積臺2的相對位置，使等離子體噴嘴1對準沉積臺2上選定的位置噴射，以達到選擇性沉積大面積復雜形狀金剛石薄膜。