[實用新型]一種用于探針臺的可調連桿球頭裝置及可調探針臺

有效

• 申請號: 202020118491.0
• 申請日: 2020-01-19
• 公開（公告）號: CN212180864U
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 張朋勇;鄭凱
• 申請（專利權）人: 武漢來勒光電科技有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 吳靜

本實用新型屬于半導體檢測技術領域，具體提供了一種用于探針臺的可調連桿球頭裝置及可調探針臺，包括上夾片、下夾片、左連桿及右連桿，所述上夾片與所述下夾片之間通過緊固螺絲連接形成可調緊固組件；所述左連桿及所述右連桿與所述可調緊固組件的兩端鉸接。通過調節緊固螺絲的擰緊程度來控制上夾片與下夾片之間的夾緊力度，從而便可改變連桿與可調緊固組件之間的靜摩擦力。當需要固定使用時，只需擰緊緊固螺絲即可；當需要靈活旋轉或移動時，只需要擰松緊固螺絲即可。該裝置便攜簡單，便于整體更換，且操作簡潔，具有廣闊的推廣前景。

技術領域

本實用新型屬于半導體檢測技術領域，具體涉及一種用于探針臺的可調連桿球頭裝置及可調探針臺。

背景技術

探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

在半導體探針臺檢測時，經常需要多次調整探針頭得到不同的緊固力。具體地，當需要移動探針頭時，則需要探針頭旋轉移動都比較靈活，此時需要的關節緊固力較弱；當移動至工位時，需要穩定探針臺以進行穩定檢測。已有的球頭軸萬向節，其球頭軸的球頭部分與外部的襯套或軸承滾動體之間的間隙較為精密且是不能調整的，無法滿足在半導體行業的探針臺上的應用。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術中探針臺不可調的問題。

為此，本實用新型提供了一種用于探針臺的可調連桿球頭裝置，包括上夾片、下夾片、左連桿及右連桿，所述上夾片與所述下夾片之間通過緊固螺絲連接形成可調緊固組件；

所述左連桿及所述右連桿與所述可調緊固組件的兩端鉸接。

優選地，所述緊固螺絲的端部設有擰動把手。

優選地，所述上夾片及所述下夾片上分別對應設有供所述緊固螺絲旋入的上螺紋通孔及下螺紋盲孔。

優選地，所述上夾片的兩端均設有上螺紋通孔，所述下夾片的兩端均設有與所述上螺紋通孔對應的下螺紋盲孔。

優選地，所述上夾片及所述下夾片均為平板件，所述上夾片的兩端及所述下夾片的兩端分別對應設有球形凹槽，所述左連桿的端部及所述右連桿的端部均設有與所述球形凹槽鉸接的球頭。

優選地，所述平板件為中間高兩邊低的臺階平板。

本實用新型還提供了一種可調探針臺，包括探針臺基座及探針頭，還包括如前所述的可調連桿球頭裝置，所述可調連桿球頭裝置的一端與所述探針臺基座固定連接，另一端與所述探針頭固定連接。

優選地，所述探針臺基座為三軸移動平臺。

本實用新型的有益效果：本實用新型提供的這種用于探針臺的可調連桿球頭裝置及可調探針臺，包括上夾片、下夾片、左連桿及右連桿，所述上夾片與所述下夾片之間通過緊固螺絲連接形成可調緊固組件；所述左連桿及所述右連桿與所述可調緊固組件的兩端鉸接。通過調節緊固螺絲的擰緊程度來控制上夾片與下夾片之間的夾緊力度，從而便可改變連桿與可調緊固組件之間的靜摩擦力。當需要固定使用時，只需擰緊緊固螺絲即可；當需要靈活旋轉或移動時，只需要擰松緊固螺絲即可。該裝置便攜簡單，便于整體更換，且操作簡潔，具有廣闊的推廣前景。

以下將結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。

附圖說明

圖1是本實用新型用于探針臺的可調連桿球頭裝置及可調探針臺的示意圖；

圖2是本實用新型用于探針臺的可調連桿球頭裝置及可調探針臺的下夾片示意圖。

附圖標記說明：探針臺基座1，左連桿2，下夾片3，上夾片4，緊固螺絲5，右連桿6，探針頭7，球形凹槽8。

具體實施方式