[實用新型]一種新型半導體行業封裝用石墨夾具

有效

• 申請號: 202020117924.0
• 申請日: 2020-01-19
• 公開（公告）號: CN211182178U
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 周英龍
• 申請（專利權）人: 南京暢鴻新材料有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/66
• 代理公司: 南京常青藤知識產權代理有限公司 32286
• 代理人: 黃胡生

1.一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，包括底座、滑動座與安裝座，所述底座、所述滑動座與所述安裝座的頂部分別設有向內凹陷的第一容置槽、第二容置槽與安裝槽；

所述第一容置槽相對的槽壁的兩端垂直連接有兩個直線導軌，兩個所述直線導軌與所述第一容置槽的槽底等距，所述滑動座的兩端底部分別可滑動地設于兩個所述直線導軌上，所述第一容置槽內還設有與所述直線導軌平行的絲杠，所述絲杠的一端連接有電機，所述絲杠的另一端插設有滾珠軸承，所述電機與所述滾珠軸承分別與所述第一容置槽相對的兩側固定連接，所述滑動座的底部還與所述絲杠連接；

所述第二容置槽內相對的兩槽壁之間連接有與所述直線導軌垂直的滑動桿，所述安裝座的底部可滑動的設于所述滑動桿上，所述安裝槽的設有所述滑動桿的一側側壁上還設有與所述安裝座固定連接的氣缸，所述氣缸的伸縮方向與所述滑動桿平行；所述安裝槽一端的相對的槽壁之間連接有第一壓板，所述第一壓板的兩端與所述安裝槽的槽口邊沿固定連接，所述安裝槽的另一端對應的所述安裝座上設有兩個相對的滑槽，所述滑槽與所述第一壓板垂直設置，兩個所述滑槽之間設有沿所述滑槽滑動的第二壓板，所述第二壓板與所述第一壓板互相平行，所述第一壓板與所述第二壓板上均插設有可沿其上下轉動的螺桿。

2.根據權利要求1所述的一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，所述滑槽為倒T字形滑槽，所述滑槽靠近所述安裝座頂部一端的截面面積小于所述滑槽遠離所述安裝座頂部一端的截面面積。

3.根據權利要求2所述的一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，所述第二壓板的兩端的底部分別設有兩個與其垂直連接的滑柱，兩個所述滑柱插設于所述滑槽中，所述滑柱插設于所述滑槽的一端設有限制塊，所述限制塊的尺寸大于所述滑槽靠近所述安裝座頂部的一端的截面大小。

4.根據權利要求1所述的一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，所述底座的側面還設有手動閥，所述手動閥與所述氣缸之間連接有氣管與接頭，所述手動閥用于調節所述氣缸收縮。

5.根據權利要求1所述的一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，所述第一壓板與所述第二壓板上均設有與所述螺桿匹配的螺孔，所述螺桿可旋轉的沿著所述螺孔上下移動。

6.根據權利要求1所述的一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，所述直線導軌上設有沿其滑動的滑塊，所述滑動座的底部與所述滑塊之間通過螺釘固定連接。

7.根據權利要求1所述的一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，所述絲杠上設有與其配合的滑套，所述滑動座的底部與所述滑套固定連接。

8.根據權利要求1所述的一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，所述安裝座的側面底部設有貫穿的穿孔，所述安裝座通過所述穿孔活動地穿設于所述滑動桿上。

9.根據權利要求1所述的一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，所述氣缸包括伸縮活塞，所述伸縮活塞與所述安裝座固定連接。

10.根據權利要求1所述的一種新型半導體行業封裝用石墨夾具，其特征在于，所述螺桿與所述安裝槽相對的一端上設有軟墊，所述軟墊為橡膠墊或泡沫墊。