[實用新型]一種具有均勻加熱功能的光學鍍膜腔體有效
| 申請號： | 202020111769.1 | 申請日： | 2020-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN211227308U | 公開（公告）日： | 2020-08-11 |
| 發明（設計）人： | 楊玉飛 | 申請（專利權）人： | 江陰慕達斯真空設備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/52;F16F15/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214400 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 均勻 加熱 功能 光學 鍍膜 | ||
1.一種具有均勻加熱功能的光學鍍膜腔體，包括設備箱體(1)，其特征在于：所述設備箱體(1)的上端固定安裝有電動機(2)，所述電動機(2)的輸出端固定連接有行星雙旋轉基板保持架(3)，所述行星雙旋轉基板保持架(3)的內部固定安裝有光學監視器玻璃(4)，所述設備箱體(1)的內壁固定連接有隔板(5)，所述設備箱體(1)的底壁依次從左向右固定安裝有離子槍(6)、探測器(7)、電子束蒸鍍器(8)和光源燈(9)，所述設備箱體(1)的內壁開設有滑道(10)，所述滑道(10)的內壁滑動連接有基板加熱器(11)，所述隔板(5)的上固定安裝有石英速率監測儀(12)。
2.根據權利要求1所述的一種具有均勻加熱功能的光學鍍膜腔體，其特征在于：所述設備箱體(1)的下端固定連接有第一支撐桿(13)，所述第一支撐桿(13)的兩側開設有條形槽(14)，所述條形槽(14)的內壁豎向固定連接有固定桿(15)，所述固定桿(15)的外表面套設有第一彈簧(16)，所述第一支撐桿(13)的下端設置有第二支撐桿(17)，所述第二支撐桿(17)的內部開設有安置槽(18)，所述安置槽(18)的內壁固定連接有銜接桿(19)，所述銜接桿(19)的一端固定連接有滑動塊(20)，所述第一支撐桿(13)的下端固定連接有第二彈簧(21)。
3.根據權利要求2所述的一種具有均勻加熱功能的光學鍍膜腔體，其特征在于：所述第二支撐桿(17)的下端固定連接有底板(22)，所述設備箱體(1)的一側通過鉸鏈鉸接有開合門(23)，所述開合門(23)的表面開設有觀察口(24)。
4.根據權利要求3所述的一種具有均勻加熱功能的光學鍍膜腔體，其特征在于：所述底板(22)的上端固定安裝有控制器(25)，所述控制器(25)通過導線分別與電動機(2)、離子槍(6)和石英速率監測儀(12)電性連接。
5.根據權利要求2所述的一種具有均勻加熱功能的光學鍍膜腔體，其特征在于：所述第一彈簧(16)的上端與條形槽(14)的內頂壁固定連接，所述第一彈簧(16)的下端與滑動塊(20)的上表面固定連接。
6.根據權利要求2所述的一種具有均勻加熱功能的光學鍍膜腔體，其特征在于：所述滑動塊(20)在固定桿(15)的外表面滑動連接，所述第二彈簧(21)的下端與安置槽(18)的內底壁固定連接。
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