[實(shí)用新型]光柵波導(dǎo)多微流道檢測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020111596.3
• 申請(qǐng)日: 2020-01-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211785134U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳昌;劉博;王靖
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海新微技術(shù)研發(fā)中心有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/64
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/64;B01L3/00;G01N21/25;G01N21/01
• 代理公司: 蘇州國(guó)卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32331
• 代理人: 黃少波

1.一種光柵波導(dǎo)多微流道檢測(cè)系統(tǒng)，包括：微流體芯片、顯微鏡、測(cè)量裝置和分析裝置；其特征在于，

所述微流體芯片包括微流體組，所述微流體組包括第一數(shù)量的微流體；

所述微流體包括光柵波導(dǎo)組和微流道，所述光柵波導(dǎo)組包括第二數(shù)量的光柵波導(dǎo)，所述光柵波導(dǎo)包括出射光柵，所述出射光柵位于所述微流道下方用以將光沿垂直方向向上導(dǎo)入所述微流道內(nèi)，所述顯微鏡用于收集所述微流道內(nèi)的光信號(hào)并向所述測(cè)量裝置傳輸所述光信號(hào)，所述測(cè)量裝置用以處理所述光信號(hào)并產(chǎn)生待分析信號(hào)并向所述分析裝置傳輸所述待分析信號(hào)，所述分析裝置分析所述待分析信號(hào)形成光譜；

所述微流體芯片還包括：依次由下而上設(shè)置下包層、波導(dǎo)層、保護(hù)層、上包層和流道蓋板，所述波導(dǎo)層是氮化硅材料，所述波導(dǎo)層用以形成所述光柵波導(dǎo)組；所述保護(hù)層是二氧化硅材料，用以覆蓋所述光柵波導(dǎo)組并保護(hù)所述出射光柵；

所述微流道貫穿所述上包層以暴露出所述保護(hù)層；

所述流道蓋板覆蓋所述微流道上開(kāi)口，所述微流道蓋板包括用以向所述微流道注入含待檢測(cè)生物分子溶液的注液口；

所述下包層是厚度為15～30μm高分子聚合材料，所述上包層是厚度為15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道寬度為10-100μm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述光柵波導(dǎo)組包括第二數(shù)量相互平行的所述光柵波導(dǎo)，以將光導(dǎo)入所述微流道，所述光柵波導(dǎo)的寬度為300-600nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述波導(dǎo)層的折射率為1.75-2.2。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述波導(dǎo)層厚度為150nm-1000nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括導(dǎo)光結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)光結(jié)構(gòu)與所述光柵波導(dǎo)組光連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述導(dǎo)光結(jié)構(gòu)包括分光結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述分光結(jié)構(gòu)用以從第二數(shù)量的第一導(dǎo)光中向上引出第二數(shù)量的第二導(dǎo)光。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述光柵波導(dǎo)是耦合光柵波導(dǎo)；

所述耦合光柵波導(dǎo)還包括入射光柵，將所述上包層上方的光導(dǎo)入所述耦合光柵波導(dǎo)直至沿垂直方向向上導(dǎo)入所述微流道；所述保護(hù)層覆蓋并保護(hù)所述入射光柵，所述波導(dǎo)層厚度為150nm-1000nm，所述耦合光柵波導(dǎo)的寬度為300-600nm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述波導(dǎo)層的折射率為1.75-2.2。