[實用新型]一種用于集成電路測試的表面掃描裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202020107121.7 | 申請日： | 2020-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN211698032U | 公開（公告）日： | 2020-10-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鄭益民;王逸晨;方旭 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江諾益科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00;G01R31/28;G01R29/14;G01R33/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市濱江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 集成電路 測試 表面 掃描 裝置 | ||
本實用新型公開了一種用于集成電路測試的表面掃描裝置，包括工作臺，所述工作臺頂部的靠中心位置固定安裝有放置板，所述放置板的頂部設(shè)置有被測試設(shè)備本體，所述被測試設(shè)備本體的底部與放置板的頂部接觸，所述工作臺頂部的靠兩側(cè)位置均固定連接有支撐板，兩個支撐板的頂部固定連接有頂板。該用于集成電路測試的表面掃描裝置，通過活動板、掃描支架、橫板、旋轉(zhuǎn)軸、探頭安裝塊和探頭的設(shè)計，使得該裝置采用機(jī)械定位的方式，擁有高精度的定位系統(tǒng)，保證定位的準(zhǔn)確和穩(wěn)定，使用的定位系統(tǒng)為傳統(tǒng)笛卡爾坐標(biāo)系，機(jī)械定位方式，并添加旋轉(zhuǎn)軸，實現(xiàn)四軸定位，精度達(dá)到萬分之一米級別，磁場探頭和電場探頭設(shè)計結(jié)構(gòu)不同，提高了采樣精度。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于集成電路測試的表面掃描裝置。
背景技術(shù)
集成電路(integrated circuit)是一種微型電子器件或部件。采用一定的工藝，把一個電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起，制作在一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上，然后封裝在一個管殼內(nèi)，成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)；其中所有元件在結(jié)構(gòu)上已組成一個整體，使電子元件向著微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面邁進(jìn)了一大步。它在電路中用字母“IC”表示。集成電路發(fā)明者為杰克·基爾比(基于鍺(Ge)的集成電路)和羅伯特·諾伊思(基于硅(Si)的集成電路)。當(dāng)今半導(dǎo)體工業(yè)大多數(shù)應(yīng)用的是基于硅的集成電路。
用于集成電路測試的表面掃描裝置，主要是針對在集成電路電磁兼容測試中，在進(jìn)行EMI輻射發(fā)射測試和EMS輻射抗擾度測試時，需要使用磁場或電場探頭對集成電路表面進(jìn)行輻射采樣，或是向集成電路表面施加輻射干擾。在這一過程中，需要表面掃描裝置，包含定位系統(tǒng)和探頭兩部分。
傳統(tǒng)的用于集成電路測試的表面掃描裝置大多手工定位不精準(zhǔn)、不穩(wěn)定，后續(xù)生成報告比較繁瑣，同時，手工定位采集到的數(shù)據(jù)只是數(shù)字形式，沒有圖片，不直觀。因此，我們提出一種用于集成電路測試的表面掃描裝置。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種用于集成電路測試的表面掃描裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出傳統(tǒng)的用于集成電路測試的表面掃描裝置大多手工定位不精準(zhǔn)、不穩(wěn)定，后續(xù)生成報告比較繁瑣，同時，手工定位采集到的數(shù)據(jù)只是數(shù)字形式，沒有圖片，不直觀的問題。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種用于集成電路測試的表面掃描裝置，包括工作臺，所述工作臺頂部的靠中心位置固定安裝有放置板，所述放置板的頂部設(shè)置有被測試設(shè)備本體，所述被測試設(shè)備本體的底部與放置板的頂部接觸，所述工作臺頂部的靠兩側(cè)位置均固定連接有支撐板，兩個支撐板的頂部固定連接有頂板，所述頂板底部的靠中心位置活動安裝有活動板，所述活動板底部的靠中心位置活動安裝有掃描支架，所述掃描支架前表面的靠頂部位置固定安裝有橫板，所述掃描支架前表面的靠底部位置活動連接有旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸的前端固定安裝有探頭安裝塊，所述探頭安裝塊的靠中心位置活動安裝有探頭，所述探頭通過導(dǎo)線電性連接有探頭適配器，探頭適配器位于工作臺的后端，所述工作臺的底部固定連接有底座。
優(yōu)選的，所述探頭包括電場探頭和磁場探頭。
優(yōu)選的，探頭適配器采用通用型設(shè)計。
優(yōu)選的，所述頂板的頂部固定連接有防塵墊。
優(yōu)選的，所述底座的前表面活動安裝有兩個抽屜，所述抽屜的前表面固定安裝有把手。
優(yōu)選的，所述底座底部的靠四角位置均固定連接有支撐桿，所述支撐桿的底部固定連接有防滑墊。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：
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