[實用新型]一種真空蓋升降裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020106484.9
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN212008773U
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設計）人: 王東輝
• 申請（專利權）人: 川北真空科技（北京）有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R1/04;G01R1/02;G01M3/02
• 代理公司: 北京華旭智信知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11583
• 代理人: 李麗

本實用新型提供一種真空蓋升降裝置，包括：電機(1)、聯(lián)軸器(2)、滾珠絲杠(3)、滑塊(4)以及連接裝置(5)，電機(1)通過聯(lián)軸器(2)與滾珠絲杠(3)相連，電機(1)通過聯(lián)軸器(2)帶動滾珠絲杠(3)轉動，從而使得滑塊(4)向上或向下運動，連接裝置(5)連接真空蓋，滑塊(4)與連接裝置(5)連接，滑塊(4)向上或向下運動帶動真空蓋上下移動，電機(1)為步進電機，電機(1)為多個，滾珠絲杠(3)包括多個，并且包括與每個滾珠絲杠配合的滾珠絲杠副，聯(lián)軸器(2)具有多個，滾珠絲杠(3)通過軸承安裝在支架上，還包括擺臂，通過真空蓋升降裝置將真空蓋開啟后，人工通過擺臂將真空蓋轉到一邊。

技術領域

本實用新型涉及電子元器件生產(chǎn)設備技術領域，特別是一種真空蓋升降裝置。

背景技術

高壓模塊試驗系統(tǒng)，是在真空環(huán)境中測試電子元件的各項性能，包括電子器件的氣密性、失效性能等，因此在高壓模塊試驗系統(tǒng)中需要營造一個真空環(huán)境。傳統(tǒng)的真空試驗箱設計為筒狀，上邊設計一個蓋體，蓋體的重量通常會超過80kg重，現(xiàn)有技術多為人工拿拆裝，非常不方便且重量過重會造成一定的危險，因此需要設計一個新型的自動真空蓋升降裝置。

發(fā)明內容

為了克服現(xiàn)有技術存在的上述問題，本實用新型提供一種可以做到自動升降的功能，配合人工旋轉搖臂，實現(xiàn)真空室蓋的開合方便電子原件的放入和取出的真空蓋升降裝置，具體功能詳細說明如下：

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型通過如下的技術方案來實現(xiàn)：一種真空蓋升降裝置，包括：電機(1)、聯(lián)軸器(2)、滾珠絲杠(3)、滑塊(4)以及連接裝置(5)，所述電機(1) 通過所述聯(lián)軸器(2)與所述滾珠絲杠(3)相連，所述電機(1)通過所述聯(lián)軸器(2)帶動所述滾珠絲杠(3)轉動，從而使得所述滑塊(4)向上或向下運動，所述連接裝置(5)連接所述真空蓋，所述滑塊(4)與所述連接裝置(5)連接，所述滑塊(4)向上或向下運動帶動所述真空蓋上下移動。

優(yōu)選的，所述電機(1)為步進電機。

優(yōu)選的，所述電機(1)為多個。

優(yōu)選的，所述滾珠絲杠(3)包括多個，并且包括與每個所述滾珠絲杠配合的滾珠絲杠副。

優(yōu)選的，所述聯(lián)軸器(2)具有多個。

優(yōu)選的，所述滾珠絲杠(3)通過軸承安裝在支架上。

優(yōu)選的，還包括擺臂，通過所述真空蓋升降裝置將所述真空蓋開啟后，人工通過所述擺臂將所述真空蓋轉到一邊。

本實用新型的有益效果：解決了通過人工上下蓋比較麻煩的情況，解決了通過其他的動作執(zhí)行機構很難實現(xiàn)速度的大范圍調節(jié)的問題，該運動機構運行平穩(wěn)，避免了對設備的沖擊。

根據(jù)下文結合附圖對本發(fā)明具體實施例的詳細描述，本領域技術人員將會更加明了本發(fā)明的上述以及其他目的、優(yōu)點和特征。

附圖說明

后文將參照附圖以示例性而非限制性的方式詳細描述本發(fā)明的一些具體實施例。附圖中相同的附圖標記標示了相同或類似的部件或部分。本領域技術人員應該理解，這些附圖未必是按比例繪制的。本發(fā)明的目標及特征考慮到如下結合附圖的描述將更加明顯，附圖中：

附圖1為根據(jù)本實用新型的真空蓋升降裝置結構示意圖。

附圖2(a)和(b)分別為采用根據(jù)本實用新型的真空蓋升降裝置的真空蓋閉合狀態(tài)圖和俯視圖；

附圖3(a)和(b)分別為采用根據(jù)本實用新型的真空蓋升降裝置的真空蓋開啟狀態(tài)圖和俯視圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發(fā)明的具體實施方式進行詳細說明，但并不用來限制本發(fā)明的保護范圍。