[實用新型]一種便于調節的頂針固定結構有效
| 申請號: | 202020100336.6 | 申請日: | 2020-01-17 |
| 公開(公告)號: | CN211182177U | 公開(公告)日: | 2020-08-04 |
| 發明(設計)人: | 侯永剛;張軍;胡冬冬;李娜;程實然;朱治友;張瑤瑤;許開東 | 申請(專利權)人: | 江蘇魯汶儀器有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人: | 馬嚴龍 |
| 地址: | 221300 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 便于 調節 頂針 固定 結構 | ||
1.一種便于調節的頂針固定結構,包括熱臺(1)、頂針(2)、頂板(3)、波紋管(4)、連接座(5)、氣缸(6)、氣缸固定架(7),所述氣缸固定架(7)安裝于機臺腔體底部側壁,氣缸(6)固定在氣缸固定架(7)上,波紋管(4)貫穿機臺腔體底部通過連接座(5)與氣缸(6)動力端連接,頂板(3)位于波紋管(4)上部,頂針(2)固定于頂板(3)上部,用于穿過定位的熱臺(1),其特征在于:所述氣缸(6)的動力端具有與連接座(5)連接的活塞板面(61),活塞板面(61)為矩形板面,四個角均設有螺孔,所述連接座(5)包括固定筒(51)以及與活塞板面(61)相同結構的固定板(53),固定板(53)中心開設有圓孔,固定筒(51)為套筒結構,固定筒(51)貫通固定板(53)的圓孔,所述固定板(53)的四個角設有與活塞板面(61)螺孔一一對應的長圓孔(54),所述固定板(53)靠近四個角的位置分別設有調節孔(55),調節孔(55)為螺紋孔,內置調整波紋管(4)垂直度的頂絲,所述固定筒(51)的外圓一周設有若干緊固孔(52),緊固孔(52)為螺紋孔。
2.根據權利要求1所述的一種便于調節的頂針固定結構,其特征在于:所述氣缸固定架(7)包括固定在機臺腔體的固定面(71)和固定氣缸(6)的連接面(72),連接面(72)一側邊為導向邊(73),另一側邊為小壓塊(75),小壓塊(75)通過螺栓安裝在連接面(72)側邊,導向邊(73)和小壓塊(75)共同夾持氣缸(6),所述連接面(72)上設有的四個角位置分別設有氣缸調節孔(74),氣缸調節孔(74)為螺紋孔,內置調整氣缸(6)垂直度的頂絲。
3.根據權利要求1所述的一種便于調節的頂針固定結構,其特征在于:所述波紋管(4)包括下部的固定法蘭(41),上部的動法蘭(42),安裝在動法蘭下部的軸體(43)以及設置在固定法蘭與動法蘭之間包圍軸體的壓縮管體(44),所述固定法蘭(41)安裝在機臺腔體底部,所述動法蘭(42)安裝于頂板(3),軸體(43)貫穿固定法蘭(41)以及機臺腔體底部,軸體(43)位于機臺腔體外的端部置于固定筒(51)內,通過在緊固孔(52)內安裝螺栓進行固定。
4.根據權利要求3所述的一種便于調節的頂針固定結構,其特征在于:所述調節孔(55)內的頂絲可調節軸體的垂直度。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





