[實用新型]雙真空室離子束加工系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020089464.5
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN211182153U
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宮文;孫建坤
• 申請（專利權(quán)）人: 云南展凡科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 蘇州中合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32266
• 代理人: 李斌

1.雙真空室離子束加工系統(tǒng)，包括相互連通的離子源真空室和工件真空室，其特征在于，所述工件真空室內(nèi)設(shè)有：

工件翻移組件，吊裝在工件真空室內(nèi)，用于固定待加工工件，并帶動待加工工件在工件真空室內(nèi)移動、翻轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙真空室離子束加工系統(tǒng)，其特征在于，所述離子源真空室和工件真空室上下設(shè)置，且所述工件真空室設(shè)置在離子源真空室的上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙真空室離子束加工系統(tǒng)，其特征在于，所述工件翻移組件包括：

工件卡盤，用于安裝固定待加工工件；

工件翻轉(zhuǎn)車，與所述工件卡盤連接以帶動工件卡盤翻轉(zhuǎn)；

直線模組，設(shè)置在工件真空室的頂部，用于固定所述工件翻轉(zhuǎn)車，并使工件翻轉(zhuǎn)車移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙真空室離子束加工系統(tǒng)，其特征在于，所述工件卡盤包括卡盤本體、以及用于將待加工工件與卡盤本體連接的鎖緊件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙真空室離子束加工系統(tǒng)，其特征在于，所述鎖緊件包括：

夾板，呈L型結(jié)構(gòu)，包括與卡盤本體表面平行的水平段，以及與卡盤本體表面垂直的豎直段；

頂緊螺絲，穿設(shè)在所述水平段上用于將夾板與卡盤本體連接；

工件掛鉤、墊塊，分設(shè)在所述豎直段的兩端用于夾緊待加工工件，所述墊塊沿豎直段可移動設(shè)置，以匹配不同厚度的待加工工件。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙真空室離子束加工系統(tǒng)，其特征在于，所述夾板沿卡盤本體的徑向可移動設(shè)置，以匹配不同大小的待加工工件。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙真空室離子束加工系統(tǒng)，其特征在于，所述工件翻轉(zhuǎn)車包括：

支架，分別與所述直線模組、工件卡盤連接；

翻轉(zhuǎn)電機，設(shè)置在所述支架上；

傳動件，一端與翻轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接，另一端與工件卡盤連接，以通過翻轉(zhuǎn)電機帶動工件卡盤翻轉(zhuǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的雙真空室離子束加工系統(tǒng)，其特征在于，所述支架包括兩個側(cè)支板、以及用于固定兩個所述側(cè)支板的連接板；兩個所述側(cè)支板之間通過轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動設(shè)置有所述工件卡盤；

所述傳動件包括與所述翻轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接的主動輪、設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上的從動輪、以及繞設(shè)在所述主動輪和從動輪上的同步帶。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙真空室離子束加工系統(tǒng)，其特征在于，所述直線模組上設(shè)有：

第一限位傳感器，用于限定工件翻轉(zhuǎn)車的加工位置；

第二限位傳感器，用于限定工件翻轉(zhuǎn)車的換料位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙真空室離子束加工系統(tǒng)，其特征在于，所述離子源真空室內(nèi)設(shè)有：離子源和法拉第杯；

所述離子源的發(fā)射端豎直向上，以對位于工件真空室內(nèi)的待加工工件進行加工；

所述法拉第杯設(shè)置在所述離子源真空室的頂部，用于對離子源發(fā)出的離子束的束流強度進行監(jiān)控。