[實(shí)用新型]一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020052652.0
• 申請(qǐng)日: 2020-01-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211256086U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁吉磊;李廣超;馬雪峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥維信諾科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 范坤坤

1.一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括：

工藝腔室，包括：容納空間和樣品入口；

封閉裝置，用于封閉或打開(kāi)所述樣品入口，所述封閉裝置封閉所述樣品入口時(shí)，所述封閉裝置靠近所述容納空間的表面與所述工藝腔室開(kāi)設(shè)有所述樣品入口的第一側(cè)壁的內(nèi)側(cè)共面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述封閉裝置包括：第一平板和第一滑軌，所述第一平板與所述第一滑軌滑動(dòng)連接，所述第一滑軌的延伸方向與所述第一側(cè)壁平行，所述第一平板平行于所述第一側(cè)壁；

所述第一平板沿所述第一滑軌滑動(dòng)至所述樣品入口時(shí)，所述第一平板遠(yuǎn)離所述第一滑軌的一側(cè)與所述第一側(cè)壁的內(nèi)側(cè)共面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述工藝腔室的與所述第一側(cè)壁相鄰的第二側(cè)壁設(shè)置有第一通孔，所述第一通孔的延伸方向平行于所述第一側(cè)壁，所述第一滑軌從所述工藝腔室外穿進(jìn)所述第一通孔，所述第一側(cè)壁沿垂直于所述第二側(cè)壁的方向的投影覆蓋所述第一通孔；所述第一通孔靠近所述容納空間的一側(cè)與所述第一側(cè)壁的內(nèi)側(cè)共面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述第一平板的平行于所述第一側(cè)壁的截面大于或等于所述樣品入口的平行于所述第一側(cè)壁的截面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述封閉裝置包括第二平板、第三平板、伸縮結(jié)構(gòu)和第二滑軌，所述第二平板和所述第三平板相對(duì)，所述伸縮結(jié)構(gòu)位于所述第二平板和所述第三平板之間，所述伸縮結(jié)構(gòu)的兩端分別與所述第二平板和所述第三平板連接，所述伸縮結(jié)構(gòu)的伸縮方向平行于所述第一側(cè)壁的厚度方向，所述第二滑軌的延伸方向與所述第一側(cè)壁平行，所述第二平板平行于所述第一側(cè)壁；

所述第三平板與所述第二滑軌滑動(dòng)連接，所述第三平板沿所述第二滑軌滑動(dòng)至所述樣品入口時(shí)，所述伸縮結(jié)構(gòu)拉伸，所述第二平板遠(yuǎn)離所述第二滑軌的一側(cè)與所述第一側(cè)壁的內(nèi)側(cè)共面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述第一側(cè)壁設(shè)置有第二通孔，所述第二通孔的延伸方向平行于所述第一側(cè)壁，所述第二滑軌從所述工藝腔室外穿進(jìn)所述第二通孔，所述第二通孔與所述樣品入口連通；所述第二通孔靠近所述容納空間的一側(cè)相對(duì)于所述第一側(cè)壁的內(nèi)側(cè)遠(yuǎn)離所述容納空間。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述第二平板的平行于所述第一側(cè)壁的截面與所述樣品入口的平行于所述第一側(cè)壁的截面相同，所述第三平板的平行于所述第一側(cè)壁的截面大于所述樣品入口的平行于所述第一側(cè)壁的截面。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述伸縮結(jié)構(gòu)包括波紋管，所述波紋管位于所述第二平板和所述第三平板之間，所述波紋管的兩端分別與所述第二平板和所述第三平板連接，以形成密封腔體；

所述封閉裝置還包括充放流體結(jié)構(gòu)，與所述密封腔體連通，用于向所述密封腔體充入流體或使所述密封腔體排出流體。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述流體包括氣體，所述充放流體結(jié)構(gòu)包括氣缸和空氣干燥壓縮機(jī)，所述空氣干燥壓縮機(jī)用于驅(qū)動(dòng)所述氣缸向所述密封腔體充氣或使所述密封腔體排氣。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括：等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備。