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[實用新型]一種化學品充裝裝置有效

專利信息
申請號: 202020051427.5 申請日: 2020-01-10
公開(公告)號: CN211595022U 公開(公告)日: 2020-09-29
發明(設計)人: 時楠 申請(專利權)人: 上海正帆科技股份有限公司;江蘇正帆半導體設備有限公司
主分類號: B67D7/06 分類號: B67D7/06;B67D7/02
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201108 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 化學品 裝置
【權利要求書】:

1.一種化學品充裝裝置,其特征在于,包括:

儲罐(1);

接頭模塊(3),所述接頭模塊(3)包括可分合的公接頭(31)和母接頭(32),所述公接頭(31)通過管路連通到槽車(100),所述母接頭(32)通過管路連通到所述儲罐(1),所述槽車(100)中的化學品通過所述接頭模塊(3)被充裝到所述儲罐(1);

清洗吹掃系統,所述清洗吹掃系統包括清洗回路(4)和吹掃回路(5),所述清洗回路(4)的一端連通純水源(200),另一端連通所述接頭模塊(3),用于清洗所述接頭模塊(3),所述吹掃回路(5)一端連通氮氣源(300),另一端連通所述接頭模塊(3),用于吹掃所述接頭模塊(3)。

2.根據權利要求1所述的化學品充裝裝置,其特征在于,所述清洗回路(4)包括水管(41)和安裝于所述水管(41)上的水管閥(42),所述水管(41)的一端連通所述純水源(200),另一端連通所述接頭模塊(3),所述水管閥(42)用于控制所述水管(41)的通斷。

3.根據權利要求1所述的化學品充裝裝置,其特征在于,所述吹掃回路(5)包括工作氣管(51)和安裝于所述工作氣管(51)上的工作氣管閥(52),所述工作氣管(51)一端連通氮氣源(300),另一端連通所述接頭模塊(3)和所述槽車(100),所述工作氣管閥(52)用于控制所述工作氣管(51)的通斷。

4.根據權利要求3所述的化學品充裝裝置,其特征在于,所述工作氣管(51)靠近所述接頭模塊(3)的一端分為吹掃支管(511)和加壓支管(512),所述吹掃支管(511)連通所述接頭模塊(3),用于吹掃所述接頭模塊(3),所述加壓支管(512)連通所述槽車(100),用于對所述槽車(100)充氣加壓。

5.根據權利要求1所述的化學品充裝裝置,其特征在于,所述清洗吹掃系統還包括收集箱(13),所述收集箱(13)設置于所述接頭模塊(3)的下方且與所述接頭模塊(3)連通,用于收集清洗后的廢水和吹掃后的氮氣。

6.根據權利要求1所述的化學品充裝裝置,其特征在于,還包括控制系統,所述控制系統包括控制氣管(15)、閉合氣缸和分離氣缸,所述控制氣管(15)的一端連通所述氮氣源(300),另一端連通所述閉合氣缸和所述分離氣缸,所述閉合氣缸和所述分離氣缸安裝于所述接頭模塊(3)中,所述閉合氣缸用于控制所述公接頭(31)與所述母接頭(32)的閉合,所述分離氣缸用于控制所述公接頭(31)與所述母接頭(32)的分離。

7.根據權利要求6所述的化學品充裝裝置,其特征在于,所述控制氣管(15)靠近所述接頭模塊(3)的一端分為第一控制支管(151)和第二控制支管(152),所述第一控制支管(151)和所述第二控制支管(152)分別與所述閉合氣缸和所述分離氣缸連通。

8.根據權利要求7所述的化學品充裝裝置,其特征在于,所述第一控制支管(151)上安裝有閉合氣缸進氣閥(16)和閉合氣缸排氣閥(17),所述閉合氣缸進氣閥(16)和所述閉合氣缸排氣閥(17)分別與所述閉合氣缸的進氣口和排氣口連通。

9.根據權利要求7所述的化學品充裝裝置,其特征在于,所述第二控制支管(152)上安裝有分離氣缸進氣閥(18)和分離氣缸排氣閥(19),所述分離氣缸進氣閥(18)和所述分離氣缸排氣閥(19)分別與所述分離氣缸的進氣口和排氣口連通。

10.根據權利要求1所述的化學品充裝裝置,其特征在于,所述接頭模塊(3)中安裝有接近開關(33),用于檢測所述公接頭(31)和所述母接頭(32)的開閉狀態。

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