[實(shí)用新型]一種傳送卷型納米壓印設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020046032.6
• 申請(qǐng)日: 2020-01-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210954602U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 冀然
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島天仁微納科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G03F7/00
• 分類號(hào): G03F7/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種傳送卷型納米壓印設(shè)備，容納槽的內(nèi)壁裝配有傳送裝置，且傳送裝置上纏繞有壓印材料，容納槽的內(nèi)壁裝配有與壓印材料配合使用的涂布裝置和預(yù)處理裝置，容納槽的內(nèi)壁裝配有壓印裝置，壓印材料的上表面右側(cè)鋪設(shè)有具有納米結(jié)構(gòu)的壓印材料，容納槽的內(nèi)壁固定裝配有紫外固化裝置，容納槽的內(nèi)壁右側(cè)裝配有與具有納米結(jié)構(gòu)的壓印材料配合使用的覆膜裝置，容納槽內(nèi)腔左右側(cè)壁均裝配有除靜電裝置，容納槽內(nèi)壁左側(cè)固定裝配有與壓印材料配合使用的糾偏導(dǎo)向裝置，本裝置防止壓印材料張力不足或者張力過(guò)大引起壓印材料變形；有效防止壓印材料偏移；避免壓印完的壓印材料在收料輥收料時(shí)納米結(jié)構(gòu)粘連在壓印材料的底部；避免壓印材料發(fā)生靜電污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及納米壓印技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種傳送卷型納米壓印設(shè)備。

背景技術(shù)

傳送卷型納米壓印光刻是一種全新大面積微納米圖形化的方法，它具有高分辨率、低成本和超高生產(chǎn)率的特點(diǎn)，尤其是它在大面積微納結(jié)構(gòu)連續(xù)和低成本制造方面具有非常突出的優(yōu)勢(shì)。

傳統(tǒng)納米壓印被認(rèn)為是一種平板型平面接觸壓印工藝，壓印材料傳送速度不宜控制，容易出現(xiàn)壓印材料張力不足或者張力過(guò)大引起的變形問(wèn)題；同時(shí)在壓印材料傳送過(guò)程中因自認(rèn)或外界因數(shù)可能會(huì)出現(xiàn)傳送位置偏移的現(xiàn)象，影響壓印質(zhì)量，壓印完的壓印材料直接纏繞在收料輥上，容易造成納米結(jié)構(gòu)與壓印材料底部的粘連；在傳送過(guò)程中壓印材料表面可能帶有靜電，吸附附近空氣中的顆粒污染物造成靜電污染，為了解決上述問(wèn)題，我們提出了一種傳送卷型納米壓印設(shè)備。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種傳送卷型納米壓印設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種傳送卷型納米壓印設(shè)備，包括殼體，且殼體的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有容納槽，所述容納槽的內(nèi)壁裝配有傳送裝置，且傳送裝置上纏繞有壓印材料，所述容納槽的內(nèi)壁裝配有與壓印材料配合使用的涂布裝置和預(yù)處理裝置，所述容納槽的內(nèi)壁裝配有壓印裝置，所述壓印材料的上表面右側(cè)鋪設(shè)有具有納米結(jié)構(gòu)的壓印材料，且具有納米結(jié)構(gòu)的壓印材料穿過(guò)壓印裝置，所述容納槽的內(nèi)壁固定裝配有紫外固化裝置，且紫外固化裝置位于壓印裝置正下方，所述容納槽的內(nèi)壁右側(cè)裝配有與具有納米結(jié)構(gòu)的壓印材料配合使用的覆膜裝置，所述容納槽內(nèi)腔左右側(cè)壁均裝配有除靜電裝置，所述容納槽內(nèi)壁左側(cè)固定裝配有與壓印材料配合使用的糾偏導(dǎo)向裝置，所述容納槽內(nèi)壁左側(cè)固定裝配有貼合于壓印材料上表面的張力控制裝置，所述殼體的上表面中部嵌入裝配有空氣凈化裝置。

優(yōu)選的，所述傳送裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)裝配于容納槽內(nèi)壁左側(cè)的放料輥和轉(zhuǎn)動(dòng)裝配于容納槽內(nèi)壁右側(cè)的收料輥，所述容納槽內(nèi)壁固定裝配有透明傳送帶，且透明傳送帶位于放料輥和收料輥之間，所述放料輥和收料輥之間纏繞有壓印材料，且壓印材料貼合于透明傳送帶上表面，所述容納槽內(nèi)壁左右兩側(cè)均勻轉(zhuǎn)動(dòng)裝配有輔助輥，且輔助輥貼合于壓印材料底面。

優(yōu)選的，所述涂布裝置包括固定裝配于容納槽內(nèi)壁的點(diǎn)膠機(jī)、刮刀和承壓板，所述容納槽內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)裝配有網(wǎng)紋輥，且網(wǎng)紋輥位于壓印材料上方，所述刮刀的刀刃與網(wǎng)紋輥側(cè)壁貼合，且點(diǎn)膠機(jī)出料端位于刮刀與網(wǎng)紋輥之間，所述承壓板與透明傳送帶上側(cè)帶底面貼合。

優(yōu)選的，所述壓印裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)裝配于容納槽內(nèi)壁的模板輥，且模板輥下端與壓印材料貼合，所述容納槽的內(nèi)壁固定裝配有與透明傳送帶上側(cè)帶底面貼合的透明承壓板，且透明承壓板位于模板輥正下方，所述模板輥包括從內(nèi)至外依次粘貼的硬質(zhì)基材、緩沖層和模具層，且模具層與壓印材料貼合。

優(yōu)選的，所述覆膜裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)裝配于容納槽內(nèi)腔右側(cè)的覆膜放料輥和覆膜壓輥，所述覆膜放料輥和覆膜壓輥的外側(cè)纏繞有覆膜材料，且覆膜材料底面與具有納米結(jié)構(gòu)的壓印材料貼合。