[實用新型]一種適宜大功率混合集成電路芯片的定位夾具組合有效
| 申請號: | 202020042218.4 | 申請日: | 2020-01-09 |
| 公開(公告)號: | CN211605117U | 公開(公告)日: | 2020-09-29 |
| 發明(設計)人: | 劉思奇;劉金麗;張超超;董晶;陽永衡;商登輝;李陽;房迪;熊濤;徐永朋 | 申請(專利權)人: | 貴州振華風光半導體有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司: | 貴陽中工知識產權代理事務所 52106 | 代理人: | 劉安寧 |
| 地址: | 550018 貴*** | 國省代碼: | 貴州;52 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 適宜 大功率 混合 集成電路 芯片 定位 夾具 組合 | ||
1.一種大功率混合集成電路芯片的定位夾具組合,其特征在于它除了原有的夾具外,還有一塊定位夾具(3)、基片壓塊(6)和芯片壓塊(7),定位夾具(3)外形是根據外殼、陶瓷基片、芯片的形狀和尺寸確定的,其一端為圓形、另一端為矩形,矩形的一邊嵌入圓形的一端,圓形部分有一個鏤空的正方形固定腔(10),矩形部分有一個鏤空的矩形固定腔(11);鏤空的正方形固定腔與陶瓷基片(5)形狀及尺寸相同;鏤空的矩形固定腔與芯片(8)形狀及尺寸相同;定位夾具(3)兩個固定腔的腔體四角分別設有圓弧孔;芯片壓塊(7)和基片壓塊(6)為端面分別與芯片(8)、陶瓷基片(5)形狀一致的長方體。
2.如權利要求1所述的定位夾具組合,其特征在于所述定位夾具(3)用不銹鋼制成,其厚度高于基片(5)而低于芯片(8)與基片壓塊(6)總厚度的2/3。
3.如權利要求1所述的定位夾具組合,其特征在于所述定位夾具(3)的圓形部分周邊有一圈定位孔(12)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





